166083. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés egykristályok röntgendiffrakciós topográfiai vizsgálatára

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG .//ti'.jIWrLvw». ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS A bejelentés napja: 1973. I. 19. (EA—120) A bejelentés elsőbbsége: Szovjetunió: 1972. I. 28. (1743310 és 1747007) Közzététel napja: 1974. VIII. 28. Megjelent: 1976. június 30. 166083 Nemzetközi osztályozás: G 01/n 23/20 Feltalálók: Azonosak a bejelentőkkel Tulajdonos: EFANOV Valery Pavlovich ^mérnök, Moszkva; KOMYAK Nikolai Ivanovich mérnök, Leningrád, Szovjetunió LJUTTSAÚ Vsevolod Grigorievich mérnök, Moszkva, RABODZEI Nikolai Vasilievich mérnök, Fryazino, Moskovskoi oblasti, Szovjetunió „Eljárás és berendezés egykristályok röntgendifírakciős topográfiai vizsgálatára" A bejelentés tárgya eljárás egykristályok röntgendiffrakciós topográfiai vizsgálatára, amelyben az egykristály keresztmetszetének vizsgált részét röntgensugárzásnak tesszük ki, és a vizsgált rész egy pontjából előre megadott irányban diffraktált sugárzást regisztrálunk. A bejelentés tárgya továbbá berendezés az eljárás foganatosítására, amelynek az egykristályra irányított röntgensugár-forrása, az egykristály krisztallográfiai tengelyéhez képest előre megadott szögben elrendezett kollimátora, és a kollimátor mögött elrendezett detektorral ellátott topogramregisztrálója van. Az eljárás és a berendezés egykristályok szerkezeti hibáinak kimutatására szolgál. Egykristályok röntgendiffrakciós topográfiai vizsgálatára alkalmas ismert eljárásokban a vizsgálandó egykristály keresztmetszetének vizsgált részét röntgensugárzásnak teszik ki, és a vizsgált rész egy pontjából előre megadott irányban diffraktált sugárzást regisztrálják. Az említett eljárásokban egyidőben az egykristály vizsgált részének mindig csak egy pontjából diffraktált sugárzást regisztrálnak, a vizsgált rész különböző pontjaiból diffraktált sugárzásértékeket időben egymás után regisztrálják. A regisztrálásnak két módja ismeretes: vagy az egy pontból diffraktált teljes sugárzást regisztrálják (például filmen fotográfiai úton) és a regisztrátumból a vizsgált diffraktálási irány-2 nak megfelelő részt kiválasztják és értékelik, vagy előre megadott szögben kollimáló csatornát (pl. szcintillációs detektor előtt elhelyezett rés) helyeznek el és az ezen átjutó sugárzást de-5 tektorral érzékelik, majd regisztrálják. Mindkét mód az egykristály keresztmetszetének egyetlen pontjáról ad információt. A keresztmetszet további pontjainak vizsgálatához az egykristályhoz képest a filmkamerát, 10 ill. a detektorral ellátott kollimáló csatornát el kell mozgatni. Az eljárás foganatosítására alkalmas ismert berendezéseknek az egykristályra irányított röntgensugárforrása, az egykristály krisztallográfiai 15 tengelyéhez képest előre megadott szögben elrendezett kollimátora és a kollimátor mögött elrendezett, detektorral ellátott topogramregisztrálója van. A röntgensugárzást a vizsgált egykristály diffraktálja, a diffraktált sugárzásnak 20 a kollimátoron átjutó része a detektorra jut. A röntgensugár-forrás egy röntgencső, amelyből származó keskeny sugárnyalábot koüimálják. A detektorhoz kapcsolt kollimátor egy egycsatornás kollimátor, amely általában az egy-25 kristály krisztallográfiai tengelyéhez képest előre megadott szögben elrendezett detektor érzékelő nyílása. Az említett berendezésekben az egykristályt és a regisztráló detektorát a térben rögzített hely-30 zetű röntgensugárnyalábhoz képest egymással 166083