166046. lajstromszámú szabadalom • Eljárás valamely felületre történő szelektív fémleválasztásra

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1973. V. d4. (WE-^-86) Amerikai Egyesült Államok-beli elsőbbségei: 1972. V. 15. (253 532), 1972. V. 15. (252 995) Közzététel napja: 1974. VII. 27. Megjelent: 1976. IV. 30. 166046 Nemzetközi osztályozás: C 23 c 3/02, H 05 k 3/18 i ! re Feltalálók: Ferrara Anne M. vegyész, fejlesztőmérnök, Princetown-Township, Kenney John T. kutatóvegyész, Lawience-Township, Amerikai Egyesült Államok Tulajdonos: Western Electric Company, Inc., New York, Amerikai Egyesült Államok Eljárás valamely felületre történő szelektív fémleválasztásra 1 A találmány valamely felületre áram nélkül történő szelektív fémleválasztásra vonatkozik. Az un! nyomtatott áramköri lemezek használata az utóbbi időben egyre jobban elterjedt. Az ilyen lemezek előnyei közismertek. Ismeretes az is, hogy valamely szubsztrátumon többféle eljárással lehet nyomtatott áramkörökhöz való fémmintázatot készíteni. Ezek az eljárások a következő módszereket és azok kombinációit foglalják magukba: a pozitív és negatív nyomtatást, pozitív és negatív selyemszita-nyomást, pozitív és negatív marást galván leválasztást és kémiai leválasztást. A témával foglalkozó szakemberek által előnyben részesített kémiai fémleválasztó eljárás egyik lépése az úgynevezett katalizáló lépés, amelynek során a szubsztrátumot, amelyet kémiai úton fémmel kívánunk bevonni, előzőleg olyan anyaggal, rendszerint fémsóval, vonjuk be, amely képes a kémiai fémező fürdőből elektromos áram alkalmazása nélkül a fémet kiredukálni. Az ilyen anyagokkal („katalizátorok" vagy „aktivátorok") kapcsolatban azért beszélünk katalizálásról, mert ezek az anyagok, általában nemesfémek (palládium, platina, arany, ezüst, irídium, ozmium, ruténium és ródium) sói, redukciós katalizátorként hatnak az autokatalitikus nem elektromos fémleválasztó folyamatban. Gyakran jellemezhető a katalizálás, mint egy „mag ültető" eljárás, amely magra kémiai redukcióval még általánosabban redox reakcióval válik le a fém. Ezt ismertetik például a 3 119 709 és 3 011 920 sz. Amerikai Egyesült Államok-beli szabadalmi leírások. 5 Az alapvető kémiai fémező eljárás további finomítása szükséges, ha nem a szubsztrátum teljes felületére, hanem csak annak kiválasztott részeire, mintázatként kívánjuk a fémet leválasztani, például nyomtatott áramköri lemez előállítása céljából. 10 Ilyen finomítás pl. M. A. De Angelo és társainak 3 562 005 sz. Amerikai Egyesült Államok-beli szabadalmi leírása, amely additív, fotoszelektív fémleválasztó eljárásra vonatkozik. 15 A DeAngelo féle additív fémmintázatot készítő eljárásnál marás, illetve fotoreziszt maszk alkalmazása nélkül alakítják ki a mintázatot. Speciálisan egy „fotopromotor"-nak nevezett oldatról van szó, amely (vagy amelynek legalább egy része) képes 20 valamely szubsztrátumon megtapadni, ha azt a szubsztrátumhoz alkalmazzuk. Promotoroknak nevezik a DeAngelo eljárásnál az Sn, Ti, Pb, Fe és Hg ionokat tartalmazó oldatokat. A megtapadt fotopromotornak olyan tulajdonsága van, hogy 25 képes oxidációs állapotát (t.i. az illető fém) változtatni, ha megfelelő sugárzás hatásának teszik ki. A fotopromotor anyag egyik oxidációs állapotában (nem mindkettőben) képes a nemes fémek (vagyis a már előbb említett palládium, platina, 30 arany, ezüst, ozmium, indium, irídium, rénium és 166046