165963. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elrendezések előállítására planar-technikával
165963 Nemzetközi osztályozás: H 011 7/44 16 12 21 14 icxxx^scsx É^AJ,vÍlÉss ss sxf? ^ 79 ' -LS/ /,.•'ZK4X\\Í 73 70 <? m^mmfh 7 77 v: 20 J^ c_x? K\VH\\\ 75 g^*^ U-^-Í:—I-— 27 75 VT7 d
/
