165962. lajstromszámú szabadalom • Eljárás működésképes integrált áramkörökből csoportos integrált áramkörök előállítására
165962 8 A vezetőpályáknak és a szigetelőrétegeknek a csoportos transzformáláshoz szükséges rajzolatait hasonló módon kell kialakítani, mint azt az egyedi úton megvalósított és ismert csoportos integrálásokhoz már alkalmazták. A fenti eljárást speciális fotosokszorosító berendezésekkel vagy digitális számítógéppel programozott programvezérelt elektronsugaras berendezéssel is elvégezhetjük. A találmány szerinti eljárásnál jelentkeznek a meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó vezetőpályákat alkalmazó csoportos integrálás előnyei, és ezzel egyidejűleg az eljárással a csoportos integrált áramköröknél az egyedileg kialakított vezetőpálya elrendezésnél tapasztalható elméleti beépítettséget garantálhatunk. A meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó fotosablonokat az integrált áramkörök készítéséhez felhasznált, már létező készülékekkel is előállíthatjuk, a találmány szerinti eljárás pedig nem igényli bonyolult és költséges speciális berendezések alkalmazását sem. A fentieket összefoglalva a találmány szerinti eljárás alkalmazásával a gyártás egyszerűsödik, és a berendezési költségek lényegesen kisebbé válnak az egyedileg kialakított vezetőpályarajzolatú csoportos integrált áramkörök gyártási költségeihez képest. A találmány szerinti eljárás alkalmazásától a csoportos integrált áramkörök önköltségének jelentős csökkentését várhatjuk, különösen azért, mert az egyedi rajzolattal elméletileg elérhető beépítettséget ezzel az eljárással is elérhetjük. A technológiailag előnyös beépítettségen kívül azon ténynek is nagy jelentősége van, hogy az integrált áramkörök belső vezetőpályasíkján kívül a csoportos integráláshoz csak egy vagy két további vezetőpályasíkra van szükség. A találmányt a továbbiakban a rajz alapján ismertetjük részletesebben, amelyen a találmány szerinti eljárás néhány példakénti foganatosítási módját ismertetjük, amelynél egy csoportos integrált áramkör minden esetben négy integrált áramkörből áll. A rajzon az l.ábra hordozó részlete, amelyen a működésképes integrált áramkörök Ax és Ay méretekkel statisztikusán elszórtan vannak az alapraszterrendszeren elhelyezve, a 2. ábra 4 bites bináris számláló logikai vázlata, a 3. ábra az alapraszterrendszer n-számú integrált áramkörének azonos geometriai csoportokba való egyesítése, amely csoportok a csoportos integrált áramkör csoportraszterrendszerét képezik, a 4. ábra részlet a vezetőpályák eltávolításához használt meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó fotosablonról, a 4a. ábra az összes, a csoportos integráláshoz nem alkalmazott integrált áramkör, a 4b. ábra a csoportos integráláshoz felhasznált integrált áramkörök csatlakozómezőinek utólag meghatározott részei. A 4. ábra szerinti részlet az 1. és 3. ábráknak' felel meg. 5. ábra az első meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó és nyílások kialakítására vonatkozó sablon részlete, amely az 1., 3. és 4. ábráknak felel meg, a 5 6. ábra meghatározott rajzolatú első vezetőpályasablon részlete, a 7. ábra meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó első vezetőpályasablon részlete, amely az 1., 3., 4. és 5. ábráknak felel meg, a 10 8. ábra második meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó és a nyílások kialakítására vonatkozó sablon részlete, amely az 1., 3., 4. és 5. ábráknak felel meg, a 9. ábra második meghatározott rajzolatú vezető-15 pályasablon részlete, a 10. ábra az első meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó vezetőpályasablon előállításához alkalmazott közbenső maszk részlete, a 11. ábra a csoportos integrált áramkör réte-20 geinek felépítése. Az 1. ábra 30 hordozó részletének vázlata, amelyen 1 alapraszterrendszerben Ax és Ay raszterméretekkel 3 integrált áramkörök vannak el-25 helyezve, amelyek között önmagukban működésképes 5 integrált áramkörök és technológiai értelemben hibás 6 integrált áramkörök vannak. A 2. ábrán vázolt négy bites számlálóval a csoportos integrált áramkör egy választott kiviteli 30 példáját szemléltetjük, és a számláló négy 23 bistabil murtivibrátorból, azaz az 1 alapraszterrendszer N = 4 működésképes 5 integrált áramköréből áll. A csoportos integráláshoz alkalmazott működésképes 8 integrált áramkörök megfelelő 9 35 csatlakozómezői egyrészt vezetőpályákon át közös csatlakozópontjaikkal a tápvezetékekhez, továbbá a nullaállapot impulzusok 25 bemeneteivel és a 2. ábrán fel nem tüntetett föld- és üzemifeszültség kapcsokkal vannak összekötve, másrészt a 8 in-40 tegrált áramkör 26, 27, 28, 29 kimenetei egy másik integrált áramkör bemeneteihez, valamint a csoportos integrált áramkör csatlakozómezőihez vannak kapcsolva. Egy további integrált áramkör bemenete a 24 bemeneti csatlakozómezőhöz van 45 kötve. A 3. ábrán az 1 alapraszterrendszer 3 integrált áramköreinek csoportokba egyesítését tüntettük fel, amelynél minden csoport egy 2 raszterrendszer 4 rasztermezejét képezi. Az 1 csoportban egyesített 3 50 integrált áramkörök n számát az n=j«k összefüggéssel határozzuk meg, amelynél j, k = 1, 2, 3..., és ez a szorzat a hordozón elhelyezett működésképes 5 integrált áramkörök olyan statisztikus eloszlásának felel meg, amelyhez a csoportos 55 integrált áramkörnél maximális beépítettség adódik. Az ábrán feltüntetett esetben j = 4, és k = 2. A fenti jelölésekkel meghatározhatjuk az alapraszterrendszer raszterméretét, amelynek értéké: Bx=j# A x és By = k*Ay . Digitális számítógép segít-60 ségével a csoportos integráláshoz minden csoportból kiválasztunk N számú működésképes 8 integrált áramkört, továbbá előírjuk a meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó fotosablonok mintáit és a fotosablonoknak egymáshoz, valamint 65 a hordozóhoz képest történő elhelyezését. A 4
