165962. lajstromszámú szabadalom • Eljárás működésképes integrált áramkörökből csoportos integrált áramkörök előállítására

MAGTAB NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1972. IV. 12. (MO-829) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1971. IV. 12. (WP H 01 1/154.520) Közzététel napja: 1974. VII. 27. Megjelent: 1976. IV. 30. 165962 Nemzetközi osztályozás: H 01119/00, H 05 k 3/06 / Feltalálók: Dr. Springer Reinhard oki. fizikus, dr. Drescher Kurt oki. fizikus, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: Arbeitsstelle für Molekularelektronik, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás működésképes integrált áramkörökből csoportos integrált áramkörök előállítására 1 A találmány tárgya eljárás működésképes áramkörökből csoportos integrált áramkörök előállítására, amelynél hordozón raszteralakban elrendezett integrált áramköröket nagy beépítettségi sűrűséggel komplex áramkörökké, illetve áramköri 5 rendszerekké kapcsolunk össze. A villamos bekötéseket járulékos vezetőpályák segítségével valósítjuk meg, amelyeket egymással szigetelőrétegekkel elválasztott síkokon alakítunk ki. Az ilyen eljárásokat csoportos integrálásnak is nevezzük 10 (MSI = median scale integration, LSI = large scale integration). Integrált áramkörök csoportos integrálására ismeretesek olyan eljárások, amelyeknél a járulékos összekötő vezetőpályák az integrált áramkör belső 15 összekötő vezetőpályáinak síkjában elhelyezett félvezetőtárcsán és/vagy egy vagy több egymástól szigetelőréteggel elválasztott vezetőpályasíkon vannak keresztezésmentesen elhelyezve. A fém- és szigetelőrétegek rajzolatát foto- 20 sablonkészlet, vagy programvezérelt elektronsugár felhasználásával készülő tapadó lakkmaszk segítségével alakítják ki. Az egyes félvezetőtárcsákon az ismert eljárásoknál a rajzolat, azaz a vezetőpályák illetve 25 szigetelőrétegek elhelyezkedése, előre meghatározott rajzolat formájában, vagy előre meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó részletek formájában, vagy pedig egyedileg kialakított rajzolatnak megfelelően van kialakítva. Az egyedi kialakítású 30 rajzolat alatt azt értjük, hogy mindig éppen az adott célokra speciális elrendezésben alkalmazott működőképes integrált áramkörök vezetőpályakivezetéseit rajzolják fel a félvezetőtárcsa készítéséhez alkalmazott fotosablonra és az adott felhasználáshoz nem alkalmazott működésképtelen integrált áramköröket a csoportos integrálásnál nem veszik figyelembe. A meghatározott rajzolatú egységeket tartalmazó eljárásnál ezzel szemben az alaprétegen statisztikus eloszlásban elhelyezkedő integrált áramköröket átrendezik (ezt az átrendezést a továbbiakban transzformációnak nevezzük) és az átrendezés következtében olyan transzformált raszterrendszert hoznak létre, amelyben a működésképes integrált áramkörök már periodikusan helyezkednek el. Az így átrendezett (transzformált) integrált áramköröket csak további vezetőpályák és szigetelőrétegek alkalmazásával lehet csoportos integrált áramkörré összekapcsolni, amelynél ezen pályák és rétegek már előre meghatározott rajzolattal rendelkeznek. Az előre meghatározott rajzolatú rétegeket alkalmazó eljárásnál minden rasztermezőn működésképes integrált áramkör helyezkedik el, tehát az integrált áramköröknek a félvezetőtárcsán 100%-os beépítettsége van. Az egyedi rajzolatú rétegeket alkalmazó eljárás hátránya, hogy a fotosablon illetve a tapadó lakkmaszk rajzolatának a létrehozásához bonyolult és költséges felszerelésre van szükség és a létrehozott rajzolat illetve minta ellenőrzése nagyon 165962