165455. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagok adalékanyag koncentrációjának gyors meghatározására és kapcsolási elrendezés az eljárás foganatosítására
5 jelet adunk a 10 és 11 generátorokból a 2 átmenetre. A 12 kettős áramamplitúdó-állandóságot biztosító áramkör biztosítja, hogy mindkét frekvenciájú áram állandó legyen. A 13 »i vagy co^ frekvenciás erősítő és egyenirányító áramkör az átmeneten fellépő »i és a>2 frekvenciájú feszültség közül az egyiket szelektíven erősíti és egyenirányítja, és az 5 regisztráló berendezés egyik kitérítő rendszerére adja. A 14 összeg- vagy különbségi frekvenciára hangolt erősítő és egyenirányító áramkör az átmeneten fellépő Ui2 összeg- vagy különbségi frekvenciájú feszültséget erősíti és egyenirányítja, és az 5 regisztráló berendezés másik kitérítő rendszerére adja. Az alkalmasabb regisztrálás érdekében 4, illetve 14 célszerűen logaritmikus erősítő lehet. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás félvezető anyagok adalékanyagkoncentráció-eloszlásának gyors és pontos meghatározására, a félvezető anyagon létrehozott egyenirányító átmeneten átbocsátott egy vagy több nagyfrekvenciás, konstans amplitúdójú árammal, miközben az egyenirányító átmenetre időben változó nagyságú záróirányú előfeszültséget kapcsolunk, azzal jellemezve, hogy a félvezető egyenirányító átmenetén fellépő feszültségkomponensek közül két szűrővel — melyek közül az elsőt az egyik nagyfrekvenciás áramgenerátor frekvenciájára, a másodikat vagy az időben változó nagyságú záróirányú előfeszültséget előállító generátor frekvenciájára, vagy a moduláló jel frekvenciájára, vagy a ráadott két nagyfrekvenciás jel egyik kombinációs frekvenciájára hangoljuk — két feszültségkomponenst választunk ki, és ezt követően az első feszültségkomponens amplitúdóját a vizsgált félvezető egyenirányító átmenetétől mért távolságra kalibráljuk, míg a második feszültségkomponenst vagy a második feszültségkomponensnek és az időben változó előfeszültséget előállító generátor feszültségének különbségét a keresett koncentrációra kalibráljuk. 2. Kapcsolási elrendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amely nagyfrekvenciás áramgenerátort, záróirányú feszültséget előállító generátort, elválasztó fokozatot, erősítőket, valamint az egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogót tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a vizsgálandó félvezető szeleten (1) létrehozott egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogó két kapcsa közé időben változó, záróirányú feszültségű hangfrekvenciás generátor (3) és egy elválasztó fokozat (9) soros kapcsolása, valamint egy <o frekvenciájú nagyfrekvenciás generátor (6) és egy áramamplitúdó-állandóságot biztosító áramkör (7) soros kapcsolása van kötve, továbbá a félvezető 3 6 átmenet egyilt kontaktusához (2) két erősítő csatlakozik, amelyek közül az egyik egy « frekvenciás erősítő és egyenirányító (8), míg a másik: egy kisfrekvenciás erősítő (4), ugyanakkor az 5 erősítők (4, 8) kimenete egy kétkoordinátás regisztráló berendezés (5) egy-egy koordinátájának megfelelő bemenetének melegpontjára csatlakozik, míg a koordinátabemenetek hidegpontjai a félvezető átmenet másik , kontaktusához esatla-10 koznak. 3. Kapcsolási elrendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amely nagyfrekvenciás áramgenerátort, záróirányú feszültséget előállító generátort, elválasztó fokozatot, erősítő-15 ket, valamint az egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogót tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a vizsgálandó félvezető szeleten (1) létrehozott egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogó két kapcsa kö-20 zé időben változó záróirányú feszültségű generátor (3) és egy elválasztó fokozat (9) soros kapcsolása, valamint egy v frekvenciával modulált co frekvenciás generátor (6) és áramamplitúdóállandóságot biztosító áramkör (7) soros kapcso-25 lása van kötve, továbbá a félvezető átmenet egyik kontaktusához (2) két erősítő (4, 8) csatlakozik, amelyek közül az egyik egy a> frekvenciás erősítő és egyenirányító (8), a másik egy >' frekvenciás jelet erősítő és egyenirányító kisfrekven-30 ciás erősítő (4), ugyanakkor az erősítők (4, 8) kimenete egy kétkoordinátás regisztráló berendezés (5) egy-egy koordinátájának megfelelő bemenetének melegpontjára csatlakozik, míg a koordinátabemenetek hidegpontjai a félvezető 35 átmenet másik kontaktusához vannak kötve., 4. Kapcsolási elrendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amely nagyfrekvenciás áramgenerátort, záróirányú feszültséget előállító generátort, elválasztó fokozatot, erősítő-40 ket, valamint az egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogót tartalmaz, azzal j e 1-lemezve, hogy a vizsgálandó félvezető szeleten (1) létrehozott egyenirányító átmenethez kontaktust szolgáltató befogó két kapcsa közé 45 időben változó záróirányú feszültségű generátor (3) és egy elválasztó fokozat (9) soros kapcsolása, valamint két coj és co2 frekvenciás generátor (10, 11) és egy kettős áramamplitúdó-állandóságot biztosító áramkör (1,2) soros kapcsolása van 50 kötve, továbbá a félvezető átmenet egyik kontaktusához (2) két erősítő csatlakozik, amelyek közül az egyik egy mi vagy «2 frekvenciás erősítő és egyenirányító (IS), míg a másik egy (Oj és a>2 valamely kombinációs frekvenciájára han-55 gólt erősítő és egyenirányító (14), ugyanakkor az erősítők (13, 14) kimenetei egy kétkoordinátás regisztráló berendezés (5) egy-egy koordinátájának megfelelő bemenetének melegpontiára csatlakozik, míg a koordinátabemenetek hidegpont-60 jai a félvezető átmenet másik kontaktusához vannak kötve.. ;, 3 ábra A kiadásért Jelel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó ig azgatója. Széchenyi Nyomda, Győr, 77.37887
