165395. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg alakzatok előállítására
165395 sekkel párhuzamosan lecsiszoljuk, előbb 5 «nies szilíciumkarbid, majd Linde A por vizes szuszpenziójával. A mechanikai megmunkálást 330 «m szeletvastagságnál fejezzük be. A még összefüggő germániumréteg további levékonyítása 250 ,«m-ig és ezzel a Hali-alakzatok „kinyitása" kémiai polírozással történik. E művelet során az 5 hordozót a marószernek ellenálló lakkréteggel védjük. A kinyitott 7 alakzatokat tartalmazó 5 hordozót az egyedi Hali-eszközök méreteinek megfelelően feldaraboljuk. Az egyedi Halieszközöket kontaktusokkal látjuk el. Alapellenállásukat ellenőrizzük és mivel a Hali-alakzatok vastagságát a számítottnál nagyobbra hagytuk, utólagos kémiai marással és ellenőrzéssel állíthatjuk be ellenállásukat. Ily módon a kiindulási germánium tömbanyag töltéshordozónak mozgékonyságával rendelkező vékonyréteg Hali-eszközt készítettünk. 2. példa: Mágneses tér hatására ellenállását változtató eszköz meander formájú vékonyrétegének alapanyagát InAs képezi. Az InAs tömbanyagból szeleteket vágunk ki, és fotoreziszt technikával, valamint kémiai marással a meander alakzatokat létrehozzuk a szeletek előzőleg polírozott felületén 0,5 /ím mélységben. A meanderek kiemelkedések formájában láthatók a szeleteken. A szeletéket meanderes felületükkel ferrithordozó lemezekre ragasztjuk Urepan S 005 ragasztóanyaggal. Ezután az InAs szelet összefüggő rétegét homokfúvással távolítjuk el a meander alakzat megjelenéséig. A hordozót feldaraboljuk, az egyedi meandereket kontaktáljuk. Az alapellenállás ellenőrzése után a beállítást kémiai marással végezzük. Végül az eszköz felületét lakkozással védjük. 3, példa: Több komponensű félvezető InSb-NiSb eutektikus kristályból is a fentiekben leírt módon állítható elő meander formájú 10—30 fira vastagságú vékonyréteg-alakzat FeNi50 ferrithordozón. A szelet csiszolása utáni kinyitása kémiai marással történik. Az eszköz alapellenállása utólagos kémiai marással állítható be. E több komponensű ötvözetből készített vékonyréteg igen nagy mágneses ellenállást mutató eszközt eredményez. Ennél az anyagnál a speciális belső szerkezet miatt különösen előnyös a találmány szerinti vékonyréteg-alakzat előállítási eljárás. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás vékonyréteg-alakzatok kialakítására, azzal jellemezve, hogy egy szelet egyik felületén az alakzatoknak megfelelő formájú és anyagú kiemelkedéseket hozunk létre, a szeletet ugyanezen felülete mentén ragasztóanyaggal 5 hordozóra erősítjük, majd a szeletet a ragasztási felülettel ellentétes oldalán legalább az alakzatok (megjelenéséig vékonyítjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a sze-10 let egyik felületén az alakzatok kívánt vastagságánál nagyobb kiemelkedéseket az alakzatok anyagának — előnyösen párologtatással történő — felvitelével hozzuk létre. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosí-15 tási módja, azzal jellemezve, hogy a szelet egyik felületén az alakzatok kívánt vastagságánál nagyobb kiemelkedéseket az alakzatoknak megfelelő anyagú szeletből az alakzat negatív képének •— előnyösen mechanikai, kémiai, 20 elektrokémiai vagy villamos úton történő — eltávolításával hozzuk létre. 4. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezv e , hogy 0,1—1000 «m vastagságú vékonyré-25 teg-alakzatot állítunk elő. 5. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezv e, hogy a szelet egyik felületén több egymástól eltérő anyagú vagy vezetési típusú réteg-30 bői álló kiemelkedéseket hozunk létre. 6. Az előző igénypontok bármelyike e- -^érinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellé ni ezv e , hogy a ragasztáskor a ragasztóanyj, megszilárdulása előtt legalább egyszer vákuumos 35 buborékmentesítést végzünk. 7. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezv e, hogy a ragasztást epoxigyantával végez-40 zük. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja ön tartó vékonyréteg-alakzatok előállítására, azzal jellemezv e, hogy a ragasztást a vékonyréteg anyagát 45 meg nem támadó oldószerben- oldható ragasztóanyaggal végezzük, és a kész alakzatot a hordozóról a ragasztóanyag oldásával leválasztjuk. 9. Az előző igénypontok bármelyike szerinti 5Q eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezv e, hogy a szeletnek a ragasztási felülettel ellentétes oldalán történő levékonyítását két lépésben — előnyösen először mechanikai, majd kémiai úton — végezzük. 1 lap rajz, 4 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. Győr-Sopron megyei Nyomdavállalat, Győr 76.17890
