165395. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg alakzatok előállítására

MAGYAK NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÄLMÄNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Szolgálati találmány A bejelentés napja: 1972. XII. 14. (MA—2431) A közzététel napja: 1974. III. 28. Megjelent: 1976. VIII. 31. 165395 Nemzetközi osztályozás: B 28 d 5/00 H 01 1 7/50 Feltalálók: Németh Tiborné vegyészmérnök, (50%-ban), Németh Tibor vegyészmérnök, (30%-ban), Lőrinczy András fizikus, (10%-ban) és Zoltai Gyula technikus, (10%-ban), Budapest Tulajdonos: Magyar Tudományos Akadémia Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest Eljárás vékonyréteg-alakzatok előállítására 1 Az elektronika ipar a miniatürizálási fejlődés során egyre gyakrabban állít fel olyan követelményeket, amelyeknél igen vékony és keskeny rétegeket, illetőleg alakzatokat alkalmaznak akár önálló eszközként (pl. mágneses térre érzékeny elemek), akár áramkörök alkotóelemeként (pl. ellenállások). Mivel ezen rétegek vastagsága néhányszor 0.1—100 ,vm tartományban van, előállításuk, kezelésük, hordozó nélküli kivitelezési formában történő forgalmazásuk, illetőleg eszközökbe való beszerelésük nehézkes. Vékonyréteg-alakzatok kialakítására számos eljárás ismeretes. Ilyen például a maszkon keresztül történő vákuumpárologtatás, flash-evaporation vákuumporlasztási technika stb. Az ezekkel az eljárásokkal előállított alakzatok a félvezető eszközök szempontjából fontos számos jellemzővel, mint például sajátos belső szerkezet, több komponensű rendszerben kellő homogenitás, a félvezető tömbanyaghoz közel álló villamos tulajdonságok stb. nem rendelkeznek. Az utóbbi követelményeket tömbanyagból mechanikai megmunkálással nyert vékonyrétegekkel lehet kielégíteni. E rétegekben az alakzatokat utólagos megmunkálással kell kialakítani, például szikraforgácsolás, ultrahangos vágás stb. útján. Hátrányuk, hogy a megmunkáló szerszámok igen kis méretű alakzatok esetén csak különleges technikai felkészültséggel készíthetők el, és egy ilyen szerszám az elektródporlódás, illetőleg -kopás miatt csak rövid ideig biztosítja a méretek reprodukálható tartását. Az utólagos megmunkálások során az anyagok igen nagy mechanikai igénybevételnek vannak kitéve. A homokfúvás 50—100 ,«m tartományban és kopás miatt a fentiek szerint szintén alkalmatlan módszer. A fotolitográfiás módszer igen nagy pontosságú alakzatkialakításokat tesz lehetővé vékonyrétegekben, azonban vastagabb vékonyrétegeknél az „alámaródás" kedvezőtlen jelensége lép fel. A találmány tárgya új eljárás vékonyrétegalakzatok kívánt anyagú hordozón történő előállítására. A kialakított alakzat vastagsága — és így a vastagságtól függő paramétere is —• utólag kívánt értékre állítható be, és az alakzat egyszerűen és biztonságosan kezelhető, szállítható, valamint szerelhető. A találmány szerint ezt azáltal érjük el, hogy egy szelet egyik felületén az alakzatoknak megfelelő formájú és anyagú kiemelkedéseket hozunk létre, a szeletet ugyanezen felülete mentén ragasztóanyaggal hordozóra erősítjük, majd a szeletet, célszerűen a ragasztási felülettel el-25 lentétes felülete felől, a kívánt vastagságra vékonyítjuk. A találmány egyik foganatosítási módja szerint a vékonyréteg-alakzatokat, amelyek egyenes, görbült vagy szögletes alakzatok is lehetnek, fém-, szigetelő- vagy félvezető anyagú, il-10 15 20 30 165395