164784. lajstromszámú szabadalom • Készülék vékony lemezek, pl. nyomtatott áramköri lapok furatpalástjainak - különösen a fémbevonatú felületének - vizsgálatára

3 164784 4 "vastagságától és az átmeneti ellenállásoktól is. Ha az utóbbiak hatását sikerül más módszerekkel figyelembe venni, akkor is ez az eljárás csak egész durva hibákat tud kimutatni. A bevonat felületének érdességéről, idegen anyagok pl. festékek jelenlétéről, stb. nem ad információt. Ha a fémbevonat 1-2 mikron vastagságú, pL a kémiai réz felvitele után, akkor a r mérőszonda megsértheti ezt a vékony fémréteget. A kitűzött feladat találmány szerinti általános megoldását az 1. ábra szemlélteti. A vizsgálandó furatot vagy furatokat tartalmazó 1 lemezt elhelyezzük a 2 tárgyasztalra úgy, hogy a vizsgálandó furat tengelye egybeessen a 3 nagyító optikai tengelyével. Bzt a 3 nagyítón keresztül történő vizuális 10 pozicionálással érhetjük eL Ennek legegyszerűbb módja, ha a 3 nagyítóban szálkereszt képe látható, akkor erre állítjuk a furat középpontját. Ha nincs szálkereszt, akkor a 2 tárgyasztalon a 3 nagyító optikai tengelyével egybeeső tengelyű kúpos furat szükséges és erre koncentrikusan helyezzük a vizsgálandó furatot. Az 1 vizsgálandó lemez és a 3 nagyító között helyezkedik el a fénysugáreltérítő szerv, amely fénysugáreltérítő elemeket tartalmaz. Ezt a célt a 6 és 7 tükör szolgálja, ezek a 4 fényforrással alulról megvilágított furatpalást képét a 3 nagyító tárgyoldala felőli részre a nagyító sugármenetének megfelelően fordítják be. Ily módon a 3 20 nagyítón keresztül a furatpalást egyik alkotója és közvetlen környezetének nagyított képe látható. A fénysugáreltérícő szervnek a furat meghosszabbított tengelye körül 360°-ban történő elforgatásával megvizsgálható a teljes furatpalást. A második kiviteli alakban a fény sugáreltérítő szerv forgatása helyett az 1 vizsgálandó lemez furatának tengelye körül történő elforgatásával is elvégezhető a vizsgálat. A találmány egyik kiviteli példáját a 2. ábra mutatja be. A 3 nagyítóként a Zeiss gyártmányú SM XX Stereomikroszkóp került alkalmazásra. At mikroszkóp tárgylencséjének foglalatára csavarokkal van felerősítve az 5 hüvely a 8 persely 30 segítségével, at 10 gyűrű a 9 kar segítségével elforgatható, amely 10 gyűrűben két darab fénysugáreltérítőként alkalmazott 6 és 7 tükör van. A 6 tükör dőlésszöge az optikai tengelyhez képest all csap körül egy rugó ellenében állító csavarral változtatható. Ez egyrészt a pontos szögbeállítást könnyíti meg, másrészt lehetővé teszi különböző átmérőjű -" vagy magasságú furatok vizsgálatát is. Ez utóbbi cél eléréséhez a 6, 7 tükrök és az 1 vizsgálandó lemez közti távolság változtatható az 5 hüvely megemelésével. A 7 tükör középpontjának a 3 nagyító optikai tengelyével kell egybeesnie. Az 1 vizsgálandó lemez pozicionálását a 2 tárgyasztalon az 4Q optikai tengellyel egytengelyű és a vizsgált furat átmérőjénél 0,1 mm-rel kisebb kúpos furat biztosítja. A furat belső palástjának megvilágítása a 2 tárgyasztal alatt lévő és a mikroszkóphoz tartozó 4 izzóval történik. A második kiviteli példa az elsőtől csak abban tér el, hogy a 7 tükör helyére a 3. ábrán megadott 12 jelű 45°-os 45 derékszögű prizma kerül. A 6 tükör dőlésszögét az optikai tengelyhez úgy kell beállítani, hogy a furatfalról visszavert fénysugár a 6 tükröt az optikai tengelyre melőlegesen hagyja el, majd ezt a 12 prizma az optikai tengely irányába 3 db A kiadásért felel: a Közgazdasági beforgatja, így a 3 nagyítóban . a furatpalást felület egyik alkotóját és közvetlen környékét láthatjuk. A 4. ábrán látható harmadik kiviteli példában a furatpalást képének beforgatását a 13 prizma végzi. A 13 prizma két fényvisszaverő felülettel rendelkezik, amelyek a furatpalást képét a 3 nagyító optikai tengelyének irányába forgatják be. A 13 prizma méretei az 1 vizsgálandó lemez furat átmérőjének és lemezvastagságának ismeretében optikai összefüggések felhasználásával kiszámíthatók. Ilyen prizma csak a számításnál figyelembe vett méretű furatokhoz alkalmazható. A többi alkatrész és további működés megegyezik az első kiviteli példában leírtakkal. A találmányhoz fűződő előnyös hatások a következőkben foglalhatók össze: 1. at furatpalást részeit beforgató fénysugáreltérícő szerv segítségével egy lemezen lévő kis furat teljes palástja láthatóvá válik. 2. at gyártás különböző fázisaiban elvégezhető ez a vizsgálat, pL több fémréteg felvitele esetén mindegyik réteg felvitele után; 3. at vizsgálat nem roncsolásos és bármikor reprodukálható; 4. a' vizsgálandó furat méretváltozása esetén a készülék egyszerű átállítással lehetővé teszi a vizsgálat folytatását; 5. az ellenőrzési időt lecsökkenti és ezzel lehetővé teszi a gyártás közbeni beavatkozást; 6. az ellenőrzés végzése nem igényel magas szakképzettségű személyzetet. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Készülék vékony lemezek, például nyomtatott áramköri lapok furatpalástjának - különösen fémbevonatú felületének - vizsgálatára, mely készüléknek fényforrása, tárgyasztala, nagyítója és legalább egy elemből álló fénysugár eltérítő szerve van, továbbá a fényforrás a vizsgálandó lemez pozicionálását biztosító tárgyasztal alatt van elhelyezve, azzal jellemezve, hogy a tárgyasztalnak a nagyító (3) optikai tengelyével egybeeső tengelyű kúpos furata van, a vizsgálandó furatot tartalmazó lemez (1) a nagyító (3) egyszeres és kétszeres fókusztávolsága között van elhelyezve, a nagyító (3) és a vizsgálandó lemez (1) között van a fénysugáreltérítő szerv, amely egy prizmából (13), "agy egy prizmából (12) és egy tükörből (6), vagy két tükörből (6, 7) áÜ, mely az optikai tengellyel szöget bezáróan van elhelyezve és két elemből álló fénysugáreltérítő szerv esetén az egyik elem középpontja a nagyító optikai tengelyében van, míg a másik elemnek a dőlésszögét változtató eszköze pl. állító csavarja (14) van, továbbá az optikai elem(ek), a nagyító optikai tengelye körül forgatható hüvelyben (10) van(nak) elhelyezve. 2. A«: 1. igénypont szerinti készülék kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a forgatható hüvely (10) karjával (9) 0-360°-ig körbe forgathatóan van ágyazva. rajz és Jogi Könyvkiadó igazgatója 750073, OTH, Budapest