164784. lajstromszámú szabadalom • Készülék vékony lemezek, pl. nyomtatott áramköri lapok furatpalástjainak - különösen a fémbevonatú felületének - vizsgálatára

SZABADALMI 164784 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG LEIRAS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 4m\ Nemzetközi osztályozás G01 b 11/24 ^^ Bejelentés napja: 1971. XÍI.22. (MA-2301) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1973. XI. 28. Megjelent: 1975. VI. 14. e Feltaláló: Szabó Vera tudományos munkatárs Budapest Tulajdonos: MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest. Készülék vékony lemezek, pl. nyomtatott áramköri lapok furatpalástjainak fémbevonatú felületének — vizsgálatára különösen a 1 A találmány tárgya készülék, amely lehetővé teszi lemezeken levő kis| furatok belső palást felületének vizuális vizsgálatát nagyító eszközön keresztül. Nagyítás céljára ismert optikai eszközöket lehet alkalmazni pl. nagyító lencséket, mikroszkópot stb. A találmány iényege a következő: először is a vizsgálandó lemezt elhelyezzük a nagyító eszköz tárgyasztalán úgy, hogy a vizsgálandó furat tengelye egybeessen a nagyító eszköz optikai tengelyével, majd a vizsgálandó furat megfelelően megvilágított palást felületéből egy tetszőlegesen kiválasztott rész- valamelyik palástalkotó és környéke- képét egy megfelelő fénysugáreltéríi ő szerv segítségével az alkalmazott nagyító eszköz tárgymezőjébe befordítva és/vagy a fénysugáreltérítő szervet vagy a furatot tartalmazó lemezt saját síkjában 360°-os szögben elforgatva a nagyítón keresztül sorban egymás után az összes alkotót, azaz az egész palást felületét láthatjuk felnagyítva. Az alkalmazási terület egyik példája a kétoldalú vagy többrétegű nyomtatott áramköri lapok galvanizált furatainak ellenőrzése. A nyomtatott lapok többnyire 1-3 mm vastagságúak és a furatok átmérője 0,5-1,3 mm. A furatok felületén lévő fémbevonat, mivel az az áramköri összeköttetés részét képezi, nem tartalmazhat repedéseket, üregeket, festékmaradványokat stb. Ezek a szigorú minőségi és megbízhatósági követelmények, valamint a technológia bonyolultsága szükségessé teszik a furat palástjának nagyító alatt történő vizuális ellenőrzését a különböző vegyi, mechanikai és elektromos gyártási eljárások során. Jelenleg az irodalomból és a gyakorlatból nem ismerünk módszert, amellyel a lemezeken lévő kis furatok belső felszínét minden pontban megfelelően felnagyítva meg lehessen vizsgálni. Ilyen igény jelentkezésekor vagy csak furatrészleteket vizsgálnak,, vagy közvetett módon, valamilyen más paraméter vizsgálatából vonnak le következtetéseket. Az első módszerrel történő f vizsgálatnál szintén optikai nagyító eszközöket használnak. A vizsgálandó furatot tartal-164784 mázó lapot a nagyító alatt különböző szögben megdöntve és megfelelő világítást alkalmazva valóban a palást felület bizonyos - többnyire véletlenszerűen adódó - pontjai válnak láthatóvá. Az egész palást felület áttekintése a lap mozgatásával létrejövő változó tárgytávolság miatt, valamint a szükg séges lapdöntés nehézkes beállítása miatt még tapasztalt szakember számára is gyakorlatilag elfogadhatatlanul lassú és nagyon nehezen reprodukálható folyamat. Egy másik szintén vizuális vizsgálati módszer a nyomtatott áramköri lapokról készített metszet tanulmányozásán alapul. Ai metszetet pontosan a vizsgálandó furat tengelyén 1 o átmenő síkban készítik el, ami többnyire a lemez beágyazásával, vágásával, csiszolásával majd polirozásával történik. Az elkészült metszetet metallográfiai mikroszkópon keresztül tanulmányozzák. A vizsgálat roncsolásos jellegéből következik, hogy csak^a vizsgálatra kijelölt lemezen, vagy az alkalmazásra kerülő lemezen lévő vizsgált szelvényén végez'5 hető el, valamint az, hogy ugyanaz a furat a gyártás különböző fázisaiban nem vizsgálható. A metszetkészítés maga és a hozzá» szükséges vizsgáló berendezés idő- és költségigényes és mivel a gyártást késleltetve követi, hiba esetén a gyártásközbeni beavatkozást nem teszi lehetővé. 20 Ugyanakkor a vizsgálati minta érzékelése nem zárja ki annak a lehetőségét, hogy az alkalmazásra kerülő lemezen lévő furat felülete a mintától eltérő lesz. A vizsgálat másik hiányossága az, hogy csak a metszés síkjában lévő két alkotóról ad felvilágosítást. Egy harmadik közvetett vizsgálati módszerként alkalmazzák a furat-fémbevonat elektromos ellenállá-25 sának mérését. Egy ilyen módszerf rövid ismertetése az Electronics c. folyóirat 1969. évfolyam 20. számában található. A furatban mért ellenállás értékét összevetik egy jó minőségű furatbevonat ellenállásának értékével és így következtetnek a vizsgált furat minőségére. A méréshez precíz mérő készülék 3Q szükséges és a mért ellenállás nemcsak a bevonatban lévő repedésektől és fémhiányoktól függ, hanem a fémbevonat