164699. lajstromszámú szabadalom • Eljárás lavina karakterisztikájú diffúziós-ötvözött szilíciumdióda p+ nn+ átmenetének előállítására
5 164699 6 csiszolat a 2. ábrán láthatóan az n+ visszakristályosodott réteget is magában foglalja. A csiszolat elkészítése után az átmenetet megmarjuk, célszerűen az alábbi összetételű oldattal: 1 tf. hidrogénfluorid 2 tf. ecetsav 6 tf. salétromsav 10 A marás alatt a szüícium-arany-antimon eutektikum felső rétegéből a szilícium kimaródik és így a visszamaradt aranyréteg szorító kötés esetén alacsony átmeneti ellenállást eredményez, hagyományos tokozás esetén pedig az alábbi oldat is segítségével forraszthatóvá válik: 15 g víz 1,2 g sósav 1,5 g glutaminsav 3 g glicerin 20 A forrasztás lehet lágy, vagy keményforrasztás. A megmart átmenetet a 2. ábrán látható helyen 25 9 védőréteggel vonjuk be. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás lavina karakterisztikájú szilícium alapanyagú diffúziós- ötvözött p+ nn + átmenet előállítására, melynél a p+ típusú diffúziós réteggel körülvett „n" típusú szilíciumlemez (1) egyik felületéről a p+ réteget csiszolással eltávolítjuk, majd a szilíciumlemezt hőkezeléssel alumíniumlemez vagy szilícium tartalmú alumíniumlemez (3) segítségével a p + nn + átmenetet hordozó molibdénlemezhez (2) keményforrasztással rögzítjük, azzal jellemezve, hogy a keményforrasztással egyidejűleg antimontartalmú aranylemezt (4) ötvözünk be a szilíciumlemez lecsiszolt felületébe. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az antimon tartalmú aranylemez (4) beötvözésekor az antimon tartalmú aranylemez (4) szabad felületére súllyal terhelt antimon tartalmú oxidkorongot (7) helyezünk. 3. Az 1. vagy 2. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a p + nn + átmenetet hordozó molibdénlemez (2) alumínium, vagy szilícium tartalmú alumínium oldali felületét a keményforrasztást megelőzően nikkellel vonjuk be. 2 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 756164-Zrínyi Nyomda 3
