164440. lajstromszámú szabadalom • Eljárás oxi-hidroxid rétegek, főként diffúziós adalékanyag források kialakítására félvezető egykristályok felületén
164440 Nemzetközi osztályozás: B 01 j 17/34 15 ^ ~7 n — V —_— **. ~> 13 _5_ 3 /^ O -Ó ." 6" d ." f o; -;; \i 11 16 C' r LhV ^ /« /. /4ßfl/4
/
