164076. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vékonyréteg vagy vékonyrétegrendszer előállítására

164076 8 eléréséig semleges atomok, illetőleg molekulák alakjában, ez után pedig részben semleges atomok, illetőleg molekulák, részben pedig ionok alakjában kondenzáljuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a vékonyréteg anyagának kondenzálása előtt a hártyán a kialakítandó vékonyréteghez csatlakozó kontaktust létesítünk, és a kondenzálás során a kondenzálódó ionok számát és energiaeloszlását a kontaktus potenciáljának változtatásával szabályozzuk. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a gőzsugár 1-10%-át a vele szemben haladó párologtató elektronnyalábbal ionizáltatjuk. 4. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy 1-50 mikron közötti vastagságú, előnyösen szilícium, germánium, sziliciumoxid, cinkszulfid, ezüst vagy arany anyagú, vékonyréteget állítunk elő. 5. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy deformálódni képes anyagként kollódiumot vagy lágy műanyagot alkalmazunk. 6. Az 1 —4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy deformálódni képes anyagként lágy fémet, előnyösen ólmot vagy indiumot alkalmazunk. 7. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja öntartó vékonyréteg előállítására, azzal jellemezve, hogy deformálódni képes anyagként a vékonyréteg anyagával kémiai reakcióba nem lépő folyadékban oldható anyagot alkalmazunk, valamint a deformálódni képes 10 hártyát a vékonyréteg elkészítése után a folyadékban feloldjuk, és a vékonyréteget a hordozóról leválasztjuk. 8. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kialakítandó vékonyréteghez csatlakozó kontaktust a deformálódni képes hártyával bevont hordozóra vagy annak hasznos felületét körülvevő részére felvitt vezető rétegként alakítjuk ki. 9. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kialakítandó vékonyréteghez csatlakozó kontaktust magából a deformálódni képes hártyából képezzük ki. 10. Az előző igénypontok bármelyike szerinti 15 eljárás foganatosítási módja több vékonyrétegből felépített vékonyrétegrendszer előállítására, azzal jellemezve, hogy az első vékonyrétegre az első vékonyréteg előállítási lépéseinek egyszeri vagy többszöri megismétlésével egy vagy több további 20 vékonyréteget készítünk. 11. A 10. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a további vékonyrétegek közé különböző anyagú és/vagy vastagságú deformálódni képes hártyát viszünk fel. 12. A 10. vagy 11. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az egyes vékonyrétegek előállításánál különböző anyagú és/vagy vastagságú vékonyrétegeket kondenzálunk. 13. A 10-12. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a vékonyrétegrendszerben egy vagy több vékonyrétegrendszer valamelyik eleméhez csatlakozó kontaktust létesítünk. 25 30 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 756074-Zrínyi Nyomda