164046. lajstromszámú szabadalom • Berendezés kivezető huzalok felerősítésére félvezető kristályok érintkezőfelületein

3 164Ü40 4 hegesztőfejnek legalább két hegesztőszerszámot hordozó és a hegesztőfej házában a hegesztőszerszámok térbeli elmozdítását lehetővé tevő módon szerelt tartója van: a hegesztőszerszámmal ellátott tartók mindegyikének van az érintkezőhuzalt a félvezetőkristály érintkezőfelületéhez kötésének idején támasztó és vezető eszköze. A hordozóeszközt a hegesztőfej alatt rögzítő befogóegység a manipulátoron úgy van elrendezve, hogy azzal a hordozóeszköz a hegesztőfejhez képest elmozdítható. Célszerűen a hegesztőszerszámok térbeli elmozdításának lehetővé tételére a hegesztőfej hegesztőszerszámainak tartói saját vízszintes tengellyel vannak szerelve, és közös, a házban rögzített, függőleges csőtengelyük van. Ebben rugózott, a tartókat vízszintes tengelyük körül elmozdító lökőrúd van elhelyezve. A tartók vízszintes tengelyei a közös függőleges tengelyen emelő közvetítésével vízszintes síkban elmozdíthatóan elrendezett hordozó támaszokon vannak rögzítve. A hordozó támaszokkal összekapcsolt emelő és a lökőrúd a berendezés hajtóegységével van kinematikus összeköttetésben. Célszerű, ha a hegesztőfej egyik tartója el van látva a haj főegységgel összekapcsolt, a félvezetőkristály érintkezőfelületein felerősített és méretre vágott kivezető huzalok egyikét a hordozóeszköz irányába hajlító szerszámmal. Célszerűen a manipulátoron a hegesztő fej tol a hordozóeszköz továbbhaladásának irányában elrendezett, a kivezetőhuzalok másikát a hordozóeszköz felé hajlító felszerelés van. A feladat előnyös megoldása az a kiviteli alak, amelynek további, a kivezető huzaloknak a félvezető tokjának érintkezőfelületeihez kötésére való hegesztőfeje van, amelynek legalább két, hegesztőszerszámot hordozó tartója van a kivezetőhuzaloknak a félvezetőkristály érintkezőfelületeihez kötésére való hegesztőfejtől a hordozóeszköz továbbhaladásának irányában elrendezve és a berendezés hajtóegységével összekapcsolva. A hajtóegységgel létrehozott kapcsolat olyan, hogy az egyik félvezetőkristály kivezetéseinek a tok érintkezőfelületeihez kötése egyibőben következik be az érintkezőhuzaloknak egy másik félvezetőkristály érintkezőfelületeihez történő kötésével. A találmány szerinti kivezető huzaloknak félvezetőkristályok érintkezőfelületen történő felerősítésére való berendezés egyidőben ellátja a félvezetőkristály összes érintkezőhelyét kivezető huzallal, amelynek eredményeképpen a jusztirozó műveletek száma mindössze egy lesz és a berendezés termelékenysége a négy szeresére, nő. A találmány tárgyát a következőkben konkrét kiviteli példára vonatkozó rajzok alapján részletesen ismertetjük. A rajzon: 1. ábra a berendezés axonometrikus vázlata 2. ábra a huzaloknak félvezetőkristály érintkezőfelületeihez történő kötésére való hegesztőfej axonometrikus vázlata 3 7. ábrák a találmány szerinti berendezéssel megvalósított munkafázisok. Az 1. ábrán látható a kivezetőhuzalokat félvezetőkristályok érintkezőfelületeihez erősítő, a találmány szerinti berendezés, amelyet tokozott félvezetők előállítása közben ábrázoltunk, ahol 1 5 kristályon kivitelezett félvezetőelemeket hordozóeszközzel - esetünkben 2 hordozószalaggal -építenek össze, amely hordozóeszköz a tok része. A berendezés egyedi tokkal ellátott félvezetők előállítására is alkalmazható, ezesetben a hordozó-10 eszközök kazetták. A kivezetőhuzalokat fél vezetőkristály ok érintkezőfelületeire felerősítő berendezésnek a találmány szerinti megoldásában 3 hegesztőfeje van az érintkezőhuzaloknak az 1 félvezetó'kristály érint-15 kezőfelületeihez történő kötésére, 4 előtolóegysége van a hordozóeszköznek — esetünkben 2 hordozószalagnak — a 3 hegesztőfej alá továbbítására, 5 manipulátora van a 3 hegesztőfej helyzetének az 1 kristály érintkezőfelületeihez képest történő juszti-20 rozására, továbbá a hordozóeszközt a 3 hegesztőfej alatt rögzítő befogóegysége, 7 gázégő formájában kivitelezett huzalvágó egysége és további 8 hegesztőfeje van, amely a kivezető huzaloknak a 2 hordozószalag konktaktfelületeire történő kötésére 25 való. Ezek az egységek a berendezés 9 hajtóegységével kinematikus kapcsolatban vannak. A 9 hajtóegység 10 tengelyén 11—19 bütykös tárcsák vannak, amelyeket 20 és 21 fogaskereken át 22 villanymotor hajt meg. A 10 tengely továbbá 30 23 és 24 kupkerekeken át 26 kapcsolókat és 27 érintkezőnélküli adót 25 bütyköstárcsákkal vezérlő egységgel van összekötve. A 3 hegesztőfejnek két, 30 és 31 hegesztőszerszámot tartó és a 3 hegesztőfej 32 házában térbeli 35 elmozdulási lehetőség" ' csapágyazott 28 és 29 tartója van. Mindkét, iú és 31 hegesztőszerszámmal ellátott 28, 29 tartón 37 bevágás és a 30, 31 szerszámokon 38 kapilláris nyílás van a 34 orsóról az 1 kristály 35 és 36 érintkező felületeihez 40 (3a ábra) történő csatlakoztatáskor letekeredő kivezető 33 huzal vezetésére és támasztására. A 30, 31 hegesztőszerszámok térbeli mozgatásának megvalósítására a példa szerinti megoldásban 28, 29 tartók saját vízszintes 39 tengelyeken 45 vannak szerelve, és közös, függőleges 40 csőtengelyük van, amely a 3 hegesztőfej 32 házában van rögzítve. A csőtengelyen 28 és 29 tartók vízszintes 39 tengelyek körüli elmozdítására való, 42 rugóval rugózott lökőrúd megy át, amely 9 hajtóegység 15 50 bütyköstárcsájával 44 rugóval rugózott 43 emelőn át van kinematikus kapcsolatban. A 28 és 29 tartók vízszintes 39 tengelyei a közös függőleges 40 csőtengely körül vízszintes síkban elmozdítható 45 és 46 hordozó támaszokon 55 vannak rögzítve, amelyek 9 hajtóegység 14 bütyköstárcsájával 47 emelőn át vannak kinemetikus kapcsolatban. Ezen 45, 46 hordozótámaszokon 49 profilos él van kiképezve a 40 csőtengely körül a 48 60 ütközőkig történő vízszintes síkú elfordításra, amely éleken 50 rugó rugóerejének hatására a 47 emelőn elrendezett 51 görgők feltámaszkodnak. A 45, 46 hordozótámaszokat közbenső 52 csapágyon 53 anya tartja össze és 54 rugó szorítja a 65 görgőkre. 2