163580. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagytisztaságú fémek, félvezetők és kristályos anyagok vékony és nagyon vékony rétegei szennyeződéseloszlásának meghatározására aktivácíós analitikai úton
163580 5 6 módja, azzal jellemezve, hogy a vizsgált réteg valamely ismert technikai eljárással célszerűen diffúleválasztandó részletei mennyiségének mérésére szol- zióval visszük be olyan mennyiségben amely az anyag gáló anyagot a neutron aktiválást megelőzően felhasználási sajátságait nem befolyásolja. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója OKISZ Labor 13-0883- Ny/74
/
