163303. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vákuum széles tartományban való mérésére

5 163303 6 kör van csatlakoztatva, amely a 9 műszerre jutó feszültség nagyságának és adott esetben a 8 jelformáló fokozat állásának függvényében a KI kapcsolót és a K2 átkapcsolót egyszerre átkapcsolja, és adott esetben méréshatár váltására vezérlőjelet is ad a 8 jelformáló fokozat részére. | A 8 jelformáló fokozat pl. erősítő és/vagy logaritmikus átalakító és/vagy méréshatárváltási feladatot láthat el, de kialakítható a berendezés a 8 jelformáló fokozat nélkül is, ez esetben a 9 műszer közvetlenül csatlakozik az egyik vagy másik kimenethez. Az ábrán valamennyi 10 kapcsoló felső állásában van. Ez megfelel az ionizációs vákuummérésnek, míg az alsó állásban a 4 izzószál ellenállásának mérésével történik a vákuummérés. A 2. ábra a találmány szerinti berendezés olyan változatának kiviteli alakját szemlélteti, ahol az 1 mérőérzé- 15 kelőben a 2 ionkollektor és a 3 anód mellett két 4A és 4B izzószál van elhelyezve. Az egyik 4A izzószál állandóan az ellenállásmérő 5 híd mérőágába van kapcsolva, a másik 4B izzószál pedig KI A kapcsolón át az Ul fűtőfeszültségforráshoz van csatlakoztatva. Az ábrázolt kap- 20 csolási vázlat még abban tér el az 1. ábra szerinti kapcsolástól, hogy a K2 átkapcsolóhoz itt közvetlenül csatlakozik a kijelző regisztráló 9 műszer és a 10 áramkör, amely a KlA kapcsolót, és a K2 átkapcsolót egyszerre vezérli. Látható, hogy a 2. ábra szerinti kiviteli alaknál 25 a Pirani-üzemmódú 4A izzószál állandóan be van kapcsolva, míg az ionizációs vákuumméréshez szükséges elektronokat emittáló 4B izzószál csak az ionizációs üzemmódban, azaz a KlA kapcsoló és a K2 átkapcsoló az ábrán szemléltetett felső állásában, van felfűtve. 30 Ezzel az elrendezéssel azt a járulékos előnyt biztosítjuk, hogy a Pirani-üzemmódra történő átváltásnál nem kell kivárni a mérőérzékelő viszonylag lassú időállandóját. Ugyanakkor az ionizációs vákuummérést a bekapcsolt 4A izzószál nem zavarja. 35 A találmány szerinti megoldás lényegesen egyszerűbb és olcsóbb kivitelű, mint a hasonló célú ismert vákuummérő berendezések, ahol a mérendő vákuumtérhez két, egymástól független és saját mérőérzékelővel rendelkező mérőkészülék van csatlakoztatva. További előnye a 40 megoldásnak, hogy az egyetlen mérőérzékelő kisebb szennyezési forrást jelent a vákuumtér számára, mint az eddigi megoldások két érzékelője, a vákuumtérrel érintkező kisebb felületek és a vákuumtérhez való egyetlen csatlakozás révén. Szabadalmi igénypontok 1. Berendezés vákuum széles tartományban való mérésére, amely berendezésnek a mérendő vákuummal közlekedő terű mérőérzékelője van, amely mérőérzékelőben elektródarendszerként ionkollektor, anód és izzószál van elhelyezve, azzal jellemezve, hogy az izzószál (4) kivezetései kapcsolón (KI) keresztül vagy ellenállásmérő híd (5) mérőágába, vagy fűtőfeszültségforráshoz (Ul) vannak csatlakoztatva, az izzószál (4) valamelyik kivezetése és az anód (3) közé előfeszítő feszültségforrás (U3) van kapcsolva, továbbá az ionkollektor (2) és az anód (3) közé sorbakapcsolt további feszültségforráson (U4) át árammérő (6) bemenete van kapcsolva. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli változata, amelynek mérőérzékelőjében ionkollektor és anód mellett két izzószál van elhelyezve, azzal jellemezve, hogy az ellenállásmérő híd (5) mérőága az egyik izzószál (4A) kivezetéseihez, a fűtőfeszültségforrás (Ul) pedig kapcsolón (KlA) át a másik izzószál (4B) kivezetéseihez van csatlakoztatva, és az előfeszítő feszültségforrás (U3) a másik izzószál (4B) valamelyik kivezetése és az anód (3) közé van kapcsolva. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ellenállásmérő híd (5) kimenetéhez és az árammérő (6) kimenetéhez a kapcsolóval (KI, KlA) együtt működtetett átkapcsolón (K2) — és célszerűen jelformáló fokozaton (8) — át kijelző és/vagy regisztráló műszer (9) van csatlakoztatva. 4. A 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a műszerhez (9) csatlakoztatott, a kapcsolót (KI, KlA) és az átkapcsolót (K2) — és célszerűen a jelformáló fokozatot (8) — vezérlő áramköre (10) van. 2 lap rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 75.3304.66-42 — Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 3