163067. lajstromszámú szabadalom • Kettősmikroszkóp különösen helyzetmeghatározó folyamatok megfigyelésére szilicium-planártechnológiában

J63067 3 4 szemleneserendszerre van szükség. Az ilyen eszközök bonyolult felépítésűek, nehezen állíthatók be és ia prizmák kardáncsuklós felfogása miatt rázasérzékenyek. A sok optikai alkatrész elhe^ lyezésére, melyeket ráadásul az objektívek egymás közötti távolságának változtatásánál egymáshoz képest el kell tolni, relatív nehéz mechanikai részre vön szükség, ez pedig igen stabil mikraszfcópstatívot igényel, ha aiz egész berendezésnek rázasálló felépítésűnek kell lennie. Ez annyiban jelentős:, hogy a helyzetmieghaitározásnál szükséges porszegény környezetet magas 'követelmények esetén lamináris áramlási doboz biztosítja. Ezit viszont a beépített motor1 és ventilátor érezhetően rázza. Megvilágítáiakor vagy a mikroszkópot kel elfordítani és a lámpát kell a helyzetmeghaltáirazó asztal fölé hozni, vagy a helyzetmeghatározó asztalt kel a fényforrás alá tolni. A mikroszkóp bonyolult felépítése miatt annak csak alsó részét elfordítani és a fényt így betükrözni műszakilag nehézségekbe ütközik. A találmány célja a technika ismert szintjén fennálló hiányosságok megszüntetése és olyan eszköz megteremtése, amely a mikroelektronika követelményeit helyzetmeghaitározási folyamatok nagy pontossága tekintetében biztosítani tudja. A találmány feladata olyan egyszerű mechanikai félépítésű, rázósra lehetőleg érzéketlen, elsősorban szilícium planárteehnológiában helyzetmeghatározási folyamatok megfigyelésére alkalmas kettősmjikroszkóp megalkotása, amelynek képminősége az objektív közepek távolságának 15 mm-től 40 mimnig való- változtatása esetén tökéletesen megfelel az egyszerű mikroszkóp képminőségének. E feladatot a találmány értelmében azáltal oldjuk meg, hogy mindkét objektívnek a képoldali, a képpontról jövő párhuzamos fénynyalábját optikailag aszimmetrikus fénynyalábbá egye<sítjük. Ez az egyik Objektív sugárnyalábjának útjában elhelyezett felületi tükör, valamint a másik objektív sugárnyalábjának útjában elhelyezett, az előbbivel párhuzamos és az objektív optikai tengelyével 45°-os szöget bezáró féláteresztő tükör segítségével történik. A féláteresztő tükör helyett osztóprizma is felhasználható a találmány alapjául szolgáló elv megsértése nélkül. A két objektív által a végtelenbe vetített tárgysíkot annak az objektívnek az optikai tengelyében, a féláteresztő tükör vagy az osztóprizma objektívtól elfordított oldalán elhelyezett tubuslencse segítségével a tubuslencse gyújtósíkjában képezzük le, amely objektív sugárnyalábja nem szenved törést. A találmány szerinti készülék lényeges előnye, hogy a félátieresztő tükörből, ill. osztóprizmábó! és felületi tükörből álló eltérítő rendszer lehetővé teszi, hogy a fcépoldali sugármenet számára egyetlen fényforrásból tükrözhető be a ráesőfény. Emellett jelentéktelen, hogy a betükrözés közvetlenül vagy közvetve történik. A két objektív közepek távolságának megváltoztatása a felületi tükör és a hozzá tartozó objektív egyidejű elmozdításával történik. Abban az esetben, ha az objektívek túlságosan nagy külső átmérői miatt helyzetmeghaitáro-5 záskor csak egy objektív használható, akkor azt az objektívet kell elhagyni, amelyiknek sugárnyalábja nincs eltérítve. A két egymástól távoli térrészt ekkor az objektív és a teljesen visszaverő eltérítő tükör eltolásával figyeljük meg. El-10 tolásra önmagában ismert berendezés szolgál. Az ismertetett megoldás a kettősmikroszkóp konstrukcióját, gyártását és beállítását jelentősen leegyszerűsíti. A berendezés rázásra érzékétlen, mivel az optikai részéket felvevő test vi-15 szonylag könnyű kialakítású és igen stabilan, forgathatóan csatlakoztatható a tubuscső hosszú alsó részén a statívra. Az eltérítő tükrök, azaz a felületi tükör és a féláteresztő tükör is érzéketlen a rázkódásofcra. A találmány különös előnye 20 abban áll, hogy optikai alkatrészei megegyeznek az önmagukban eléggé ismert egyszerű, ráeső fénnyel dolgozó mikroszkópok alkatrészeivel. Felhasználhatók tehát a ráesőfény céljára kifejlesztett, azaz végtelen képtávolságra korri-25 gált objektívek, amennyiben a sablonok üvegvastagsaga a képminőségüket nem csökkenti lényegesen. A 40 mm-es objektív-tengelytávolság könnyen megvalósítható, de ennél nagyobb távolságok is megvalósíthatók. 30 Egy-objektíves megfigyelésnél nincs szükség a teljes mikroszkóp eltolására. Ez által a nyugvó okulárok miatt a megfigyelés könnyebb. A találmány tárgyát a következőkben egy ki-35 vi'teli példán világítjuk meg közelebbről. A rajz a sugár útját mutatja helyzetmeghatározó folyamat két objektives megfigyelésénél. A 11 tárgysík fölött az 1 és 5 objektívek egyenlő magasságban helyezkednek el. Mindegyik objektív a végtelenbe vetíti az által megfigyelt tárgytér részt, azaz az egy tárgypontból kiinduló sugarak^ az 1 és 5 objektívek optikáján • áthaladva, párhuzamosakká válnak. Az 1 objektívet elhagyó párhuzamos sugárnyaláb áthalad az 1 objektív optikai tengelyével 45°-os szöget bezáró féláteresztő 2 tükrön és 3 tubuslencse 4 gyújtósíkjában valós képpé egyesül. Az 5 objektívből kilépő párhuzamos sugárnyalábot a féláteresztő 2 tükörrel azonos magasságban levő és 50 azzal párhuzamos felületű 6 felületi tükör rávetíti a féláteresztő 2 tükörre, amely azt a 3 tubuslenose optikai tengelyének irányába tereli és a 3 tubuslencse a nyalábot 4 gyújtósíkjában valós képpé egyesíti. Ugyanez érvényes a tengelyen 55 kívüli sugarakra is, egészen a korrigált képmező haltáráig. A ráesőfény 'betükrözése mindkét 1 és 5 objektív számára 8 feondenzoirral rendelkező közös 7 fényforrásból történik a féláteresztő 2 tükrön 60 és a 6 felületi tükrön keresztül. A 7 fényforrás és a 8 kondenzor a fáiáteresztő 2 tükör magasságában helyezhető el. A fénysugarat a rajzon nem ábrázolt, járulékos fényterelő szervek felhasználásával is be lehet tükrözni. A két objek-65 tívből jövő sugárnyaláb váltakozó megszakítá-2