163067. lajstromszámú szabadalom • Kettősmikroszkóp különösen helyzetmeghatározó folyamatok megfigyelésére szilicium-planártechnológiában

MAGTAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1968. III. 02. {AE—252) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1967. III. 02. (WP 42 h/123040) Közzététel napja: 1973. I. 28. Megjelent: il975. III. 31. 163067 Nemzetközi osztályozás: G 02 b 21/00 Feltaláló: Westphal Peter, oki. fizikus, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: Arbeitsstelle für Molekularelektronik, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Kettősmikroszkóp különösen helyzetmeghatározó folyamatok megfigyelésére szilícium-planártechnológiában A találmány tárgya kettősimikroszkóp, amely elsősorban a planártedinológiai helyzétmeghatározó folyamatok megfigyelésére alkalmas. Ilyen mikroszkópok a szakterületen „split field microscope" Vagy „alignment microscope" néven 5 ismertek. Ennél az önmagában ismert eljárásnál egymástól egyenlő távolságokban levő, egymással azonos struktúrákat, amelyek fotósablonon vagy krómsablonon vannak és már meglevő, 1° egymással azonos struktúrákat, amelyek a sablonon levő striiktúrálklkal azonos távolságban vannak egymástól, fényérzékeny lakkal, ún. fotómásolólakfcal bevont szilícium lemezen, nagy, ifim nagyságrendű pantassággai keH egymáshoz ren- 15 delni. A sablonon levő struktúrákat ezután kontaktmásolással a fotó-inásolólakk rétegre vfezik át. Ahhoz, hogy az egymáshoz rendelés az egész lemezen nagy pontosságú legyen, mind a lemezen, 20 mind a sablonon két-két, egymástól távoli struktúrát kell a helyzetmegjhatárazáskör megfigyelni. A fcét megfigyelendő pont közötti távolságot a lemez kb. 15 mm és 40 mm közötti átmérője korlátozza. 25 Manapság helyzetmegnatározási folyamatok megfigyelésére vagy egyszerű mikroszkópokat alkalmaznak, amelyeket a két egymástól távoli pont megfigyeléséhez el kell tolni, vagy kettős- 30 mikroszkópot alkalmaznak; az utóbbiaknál a két objektív képoldali fénynyalábját prizmák segítségével először a két objektív középvonalára merőlegesen kifelé, majd a középvonallal párhuzamosan felfelé és végül ismét iá középvonalra merőlegesen befelé hajlítják. A két fénynyaláb egyesítése és megtörése az okulárok irányába itt két olyan ragasztott prizmával történik, amelyeknek a ragasztási felületének fele tükröző, vagy 90°-os tetőprizmával történik oly módon, hogy a két objektíven keresztül egyenként egyszerre csak a látómező fele látható. Az első esetben a két objektív látómezeje vagy szuperponálva vagy csak mindig az egyik, ráesőfény megvilágítás váltakozó bekapcsolásával figyelhető meg. Az ilyen kettősmikroszkópoknal az objektívek közép vonalának távolsága csak relatív kis tartományban (kb. 12 mm és 25 mm között) változtatható. Bár az egyszerű mikroszkópok jó képminőséget biztosítanak;, de két egymástól távoli pont megfigyeléséhez el keH tolni őket. Ezzel ellentétben a kettősmilkroszkópok képminősége akkor rosszabb, ha nem alkalmaznak speciális, a képoldaOi üvegút és a hagyományos milkoszkópok tubusainál nagyobb tubushosszakra korrigált objektíveket. A két objektív egy-egy félképének egy binokuláris tubus segítségével történő egyidőbeni megfigyeléséhez, ezen kívül specialis 163067