162828. lajstromszámú szabadalom • Eljárás idegen anyag félvezető test felületi rétegébe meghatározott alakzatban történő bevitelére

162828 talán lenne, az átütés pl. a két tű között is bekövetkezhetne. A vezető csatornát ilyenmódon a csatorna széleségétől, anyagától, az alkalmazott impulzusoktól, stb. függő számú lépéssel alakíthatjuk ki. Hosszabb, esetleg nem egyenes vezető csatorna találmányunk szerinti kialakításának másik módja szerint, az első szakasz elkészülte után a 3 tűt a 4 tű helyére, a 4 tüt pedig á második szákasz tervezett végpontjára helyezzük át, és az eljárást megismételjük. Ilymódon az előzőkben ismertetettnél hosszabb vezető csatornák is kialakíthatók. A lépések során a vezető anyag pl. Sn olymódon pótolható, hogy a 3 tű végére minden egyes lépés előtt kis mennyiségű vezető anyagot viszünk fel, ami a feszültségimpulzus vagy feszültségimpulzusok hatására a vezető csatornába kerül. Találmányunk szerinti, több közéi egyénét szakaszból álló vezető csatorna előállítása különösen az integrált áramkörök gyártásában alkalmazható előnyösen. Szabadalmi igénypontok: 5. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségimpulzus háromszög vagy fűrészfog alakú. 5 6. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy volfrám anyagú tűket alkalmazunk. 7. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, 10 hogy 15—40 mikron sugárban legömbölyített végű tűket alkalmazunk. 8. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a tűket a félvezető test felületéhez egy-15 mástól 80—500 mikron távolságra csatlakoztatjuk. 9. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, ázzál jellemezve, 20 hogy a feszültségimpulzusok csúcsértéke 100— 500 Volt, szélessége pedig 100—500 mikrosec. 10. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja p-n átmenet előállítására, azzal jellemezve, hogy az idegen 25 anyag a félvezető testet p- vagy n-típusuan szennyező anyag. 1. Eljárás idegen anyag félvezető test felületi rétegébe történő bevitelére, amikoris a félvezető test felületéhez egyik fém tűt közvet- 30 lenül, másik fém tűt pedig az idegen anyag közbeiktatásával csatlakoztatunk, majd a tűkre legalább egy feszültségimpulzust adunk, azzal jellemezve, hogy a két tűt a félvezető test egyik felületének egymás melletti, a felületi 35 rétegben az idegen anyagiból létrehozandó egyenes alakzat végpontjait kijelölő két pontjához csatlakoztatjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fél- 40 vezető test egyik felületének egy részére idegen anyagból álló réteget veszünk fel, és az egyik tűt közvetlenül a félvezető test szóbanforgó felületéhez a másik tűt pedig az idegen anyagiból álló réteghez csatlakoztatjuk. 45 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az egyik tű végére a félvezető test felületéhez történő csatlakoztatás előtt idegen anyagot viszünk fel, majd mindkét tűt a félvezető test egyik felü- 50 létéhez csatlakoztatjuk. 4. Az előző igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az idegen anyag közbeiktatásával csatlakoztatott tűre a másik tűhöz viszonyítva 55 pozitív poralitású feszültségimpulzust adunk. 11. Az 1—9. igénypontok bármelyike sserinti eljárás foganatosítási módja villamosan vezető csatorna, illetőleg ohmos kontaktus előállítására, azzal jellemezve, hogy az idegen anyag a félvezető testben p-n átmenetet nem eredményező fém." " i. 12. A 11. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja több egymáshoz csatlakozó egyenes alakzatból 'álló villamosan vezető csatorna bevitelére, azzal jellemezve,; hogy:az eljárást az éppen elkészült egyenes alakzat végpontjához csatlakozva egyszer vagy többször megismételjük. 13. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az eljárást az idegen anyag közbeiktatásával csatlakoztatott tű helybenhagyásával és a másik tűnek a kívánt következő egyenes "alakzat végpontjára történő áthelyezésével ismételjük meg. 14. A 12. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az eljárást mindkét tűnek a kívánt következő egyenes alakzat két végpontjára történő áthelyezésével ismételjük meg, amikoris az egyik tű végére minden egyes csatlakoztatás előtt idegen anyagot viszünk fel. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági- és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7408457. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3