162565. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők ohmos kontaktusainak kialakítására

MAGTAR N£PK0ZTARSA£ SZABADALMI LEIRAS SZOLGALATI TALÁLMÁNY 162565 f Bejelentés napja: 1971. IV. 16. (EE—1915) Közzététel napja: 1972. X. 28. Megjelent: 1974. IX. 30. Nemzetközi osztályozás: H 01 r 1/14 f Bejelentés napja: 1971. IV. 16. (EE—1915) Közzététel napja: 1972. X. 28. Megjelent: 1974. IX. 30. X ORSZÁGOS ALALMANY HIVATAL f Bejelentés napja: 1971. IV. 16. (EE—1915) Közzététel napja: 1972. X. 28. Megjelent: 1974. IX. 30. Feltalálók: Turányi Gáborné vegyészmérnök, Mann Viktor gépésztechnikus, Budapest Trombitás Gábor gépésztechnikus, Alsógöd Tulajdonos: Egyesült Izzólámpa és Villamossági RT-, Budapest Eljárás félvezetők ohmos kontaktusainak kialakítására A találmány tárgya a félvezetőtechnikában használt ún. sandwiich-tií|pusú — ohmos érintkező kialakítása. A találmány szerinti érintkező kialakítás — célszerűen azért előnyös, mivel a termokompressziós kötés tömeggyártásban is — tehát-.nem laboratóriumi körülmények között — azzal jól kialakítható. Célunk az, hogy célszerűién a vékonyréteg technikával kialakított szulbsztráitumon olyan minőségű felületi struktúrájú reprodukálhiatóan érdes konitaktálási felületet hozzunk létre, anxi nemcsak kellő biztonságú mechanikai kötés szilárdságot ad, hanem azon túlmenően lényegében ohmikus jellege van. Az irodalóm. és a gyakorlat számos elj árast ismertet ohmos kontaktus kialakítására félvezetők felületén. Az egyik ilyen — közismert — eljárás, amit főleg a Ge technológiában használnak, az ún sandwichHérintkező kialakítása. Ez úgy történik, hogy a félvezető (Ge) — szokásosan előkészített, felületére — vákuumpárologtatásisal egymás után három fémréteget visznek fel. Nevezetesen pl. először Au, majd Ag, végül ismét Au réteget. Ezen hármas (sandwich) réteg szerkezet a kellő minőségű és tulajdonságú kontaktust biztosítja. Nevezetesen az első aranyréteg feladata az elektromos kontaktus biztosítása, az arany felületére párologtatott ezüstréteg összefüggő fe-10 15 25 30 2 Kilétet alakít ki, végül az erre felvitt második aranyréteg a kontaktus feMilietét az atmoszférikus káros hatásoktól védi meg, mint nemes fém. Ezen, egyébként kedvező kontaktus-kialakítás hátrányániak tudható 'be, hogy a kontaktus biztonságos termokompressziós kötéssel csak ideális feltételek (ilyen pl. a gépi beállítás) között látható el. Ennek az oka a kialakított sandwich-ifényes, sima felülete. Ez a kialakítás tehát a tömeggyártási feltételeket nem elégíti ki elégséges mértékben. Elsősoriban az említett hátrány megszüntetésére törekedtünk kísérleteinkiben, melyek végül is találmányunkhoz vezettek. Találmányunk lényege az a felismerés, hogy nem tükörsima, hanem, megfelelően érdes felületű Au réteget kell a párologtatásnál kialakítani. Az érdes felületű kontaktuson a termokompressziós kötés nagyobb felületen alakiul ki és így kevésbé érzékeny. Ezt a kedvező felületet a párologtatás hőmérsékletének és az egyenes rétegeik páüologtatási sebességének pontos beállításával érhetjük el. Az első Au réteget gyorsan párologtatjuk, ekkor összefüggő Au réteg nem tud kialakulni a gyors rápárologtatás miatt, az Au apró, diszkrét cseppekben fedi a félvezető felületét. A soronkövetkező Ag és Au rétegeket már kisebb sebességgel párologtatjuk, s így a kialakított hármas — Au-Ag-Au 162565 f