161980. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tesetek szigetelő anyaggal történő bevonására
161980 mány szerint ezt az állapotot előnyös módon azáltal használjuk ki, hogy a bevonandó testeket a kisülési elektródák közvetlen közelében, különösen közvetlenül azokra felfekve helyezzük el. A bevonandó testek emellett az elektródákon továbbíthatók. Előnyös módon az egymással szembenfekvő elektródák teljes felületét beboríthatják a bevonandó testek. Emellett a bevonandó testek közvetlenül a szembenfekvő kisülési elektróda felületeken fekszenek. Amennyiben az elektródafelüleltek meghatározott részei a bevonandó testet nem borítják be, akkor ezeket szigetelőrétegekkel pl. 1 mm vastag epoxigyanta rétegekkel láthatjuk el a további lerakodás kiküszöbölése céljából. A találmány szerinti eljárás lehetővé teszi az átvezetési sebesség variálásával egyetlen lépésben egész vékony rétegek (cca 0,05 p), valamint viszonylag egészen vastag rétegek (2 /*) előállítását, különösen fóliabevonás esetén. Megállapítottuk, hogy a kiválási sebesség a kivált réteg növekvő vastagságával arányosan csökken. A találmány szerinti eljárás tehát igen előnyösen alkalmazható vékony rétegek 'előállítására. Pl. egy fóliának 1,5 m/perc sebességgel történő átvezetése esetén a reakciótérben 0,2 /* vastag réteg alakul ki. Mivel a glimmkisülés hatására bekövetkező polimerizációnál a bevonandó fólia felmelegedése nem teszi lehetővé a glimmkisülési szakasz tetszés szerinti nagyságúra történő megválasztását, célszerű rövidebb bevonási idő biztosítására több glimmkisülési szakaszt egymás után kapcsolni. Bevonandó testként különösen alkalmas fémfólia vagy fémmel bevont műanyagfólia, vagy segédhordozó, amely leoldható fémesített vékony fóliát hord. Különösen vékony réteget lehet pl. alumíniummal bevont műanyagfólián előállítani. Az eljárás azonkívül azzal az előnynyel is jár, hogy a fémesített műanyagfólia feldolgozásánál villamos kondenzátor esetén a 5 műanyagfólia szigetelő közbenső betétként használható fel a két ellenpólus között és a polimerizációs rétegnek mint dielektrikumnak felhasználása esetén regenerálódó kondenzátorokhoz a műanyagfólia oxigénhordozóként működ-10 het. Polimerizációs réteg előállítására rendkívül sok szerves vegyület alkalmas, amely szobahőmérsékleten elég magas gőznyomással rendelke-15 zik. Kiinduló anyagként. monobenzolt is alkalmazhatunk polimerizációs réteg előállítására. Megfelelő, előnyös rétegtulajdonságok elérése céljából keverék polimerizátumok mutatkoztak különösen előnyösnek. Az egyes komponensek 20 gőznyomásainak, a reakciótérben történő variálásával a polimerizációs filmben a részvételi arányuk beállítható és így a polimerizációs réteg meghatározott dielektromos és mechanikus tulajdonságai biztosíthatók. Pl. egyenletes vas-25 tagság, mechanikus stabilitás, még nagy kiválási sebesség mellett is, szOoxjan és stirol gázkeverékéből. A polimerizációs rétegnek fémmel bevont műanyagfóliára történő felvitelekor jó tapadószilárdság adódik az alap és a felvitt 30 film megközelítőleg azonos tágulási együtthatója miatt. Térbeli hálósságuk miatt a felvett polimerizációs filmek (hőmérséklet szempontjából erősen igénybe vehetők. 35 A következőkben a polimerizátumok egyes fontosabb villamos tulajdonságait egy táblázatban adjuk meg. A polimerizátumot glimmkisüléssel állítottuk elő. Glimm polimerizátumú kondenzátorok dielektromos tulajdonságai Stirol sziloxán Perfluorciklobután Paraacetaldehidstirol Propilén Dielektromos állandó szobahőmérsékleten 1 kHz-nél Dielektromos veszteségi tényező (103 Xtg«5) Szigetelési ellenállás (M OXpF) IQ""6 Hőmérsékleti tényező TKf Térfogati kapacitás 2X6 /<m-es tartófólia esetén (i«F/cm3 ) Rétegvastagság (A) 2,6 2,2 3,4 2, 120 Hz-nél 4 7 9 5 1 kHz-nél 6 12 12 7 25 °C-on 20 000 20 15 30 000 100 °C-on 2 000 15 12 15 000 150 °C-on 100 10 10 1000 25— 90 °C + 350 + 100 + 350 + 900 90—150 °C + 700 + 300 + 500 +; 1 000 4 15 13 10 2 00Q 1000 1000 1000 2
