161916. lajstromszámú szabadalom • Fényérzékelő félvezető eszköz

MAGTAR NÉPK0ZTÁRSAÍ SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 161916 | Bejelentés napja: 1971. IV. 26. (MA—2221) 1 Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. | Bejelentés napja: 1971. IV. 26. (MA—2221) 1 Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. H 01 1 15/02 | Bejelentés napja: 1971. IV. 26. (MA—2221) 1 Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. 3 S | Bejelentés napja: 1971. IV. 26. (MA—2221) 1 Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. 1 ORSZÁGOS ALALMÁNX HIVATAL | Bejelentés napja: 1971. IV. 26. (MA—2221) 1 Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. Feltalálók: Gál Mihály fizikus, Dr. Schanda János fizikus, Budapest Tulajdonos: Magyar Tudományos Akadémia Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest Fényérzékelő félvezető eszköz A találmány tárgya fényérzékelő félvezető eszköz, amelyben laterális fotofeszültség két különböző félvezető anyagból készült heteroátmenet struktúráján jön létre, és a fotofészültségét a heterostruktura egyik oldalán levő elektródák között mérjük, a heterostruktura másik oldalán elhelyezett elektródák segítségével pedig a fentemlitett egyik oldalról levett fűtőfeszültséget \noduláljuk. Ismeretes, hogy félvezető p-n átmeneten, ha az átmenet síkjára merőlegesen beeső fényfolttal világítjuk meg a félvezetőt, és a p-n átmene struktúra egyik oldalán villamos kapcsolatot létesítő kontaktusokat helyezünk el, akkor a megvilágító fényfoltot az átmenet síkjában elmozdítva, azonos fényintenzitás esetén is változó erősségű fotofeszültség keletkezik. Ez az ún. fotofeszültség helyzetérzékeny fénydetektorok készítését teszi lehetővé. Az ismert eszközök hátrányos tulajdonsága, hogy a fényfolt elmozdulása és a fotofeszültség közötti összefüggés kevéssé lineáris. A találmány szerinti fényérzékelő félvezető eszköz az ismert laterális fotofeszültség alapján működő eszközökkel szemben jobb linearitást, a fotofeszültség egyszerű modulálhatóságát és a színképi (tartomány kiterjesztését biztosítja. Ezeket az előnyös tulajdonságokat azáltal érjük el, hogy a p-n átmenetet heterostruktura, azaz különböző anyagokból álló átmenet formájában képezzük ki, és az eszközön vezérlőelektródákat helyezünk el. Találmányunk tárgya tehát fényérzékelő fél-5 vezető eszköz, amelynek p-n átmenetet tartalmazó félvezető testén a p-n átmenettel párhuzamos fényérzékelő felülete és ezen elrendezett legalább kettő mérőelektródája van, és az jellemzi, hogy a p-n átmenet két különféle anya-10 gú félvezető kristály heteroátmeneteként van kialakítva, és a félvezető testnek a fényérzékelő felülettel ellentétes, a p-n átmenet másik oldalán levő felületén legalább kettő vezérlőelektróda van elrendezve. A találmány szerinti 15 félvezető észköz előnyös kiviteli alakjánál a heteroátmenetet alkotó anyagok germánium és sziücium. A találmány szerinti fényérzékelő félvezető eszköznél mind a mérő, mind pedig a vezérlő-20 elektródák száma kettőnél 'több is lehet. Pl. síkbeli fénypontérzékelés megvalósítható négy mérőelektródával. Ha síkbeli vezérlést is kívánunk, pl. négy vezérlőelektróda alkalmazható. 25 A találmány szerinti megoldás előnye az, hogy egyrészt a hetteroátmenet segítségével mód van a színképi érzékenységi tartomány jelentős kiterjesztésére, másrészt, mivel a heteroátmenetnél a felnövesztett réteg és az alapréteg 30 között az átmenetet igen élesre és síkra lehet 161916