161846. lajstromszámú szabadalom • Eljárás MO hordozón ZRC-PT antiemissziós rétegrendszer kialakítására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Bejelentés napja: 1971. VIII. 25. (EE—1941) Közzététel napja: 1972. VI. 28. Megjelent: 1974. III. 30. 161846 Nemzetközi osztályozás: C 23 b 13/00; H 01 j 19/38 Feltalálók: Gáspár György mérnök, Millner József mérnök, Budapest Tulajdonos: Egyesült Izzólámpa és Villamossági Rt., Budapest Eljárás Mo hordozón ZrC-Pt antiemissziós rétegrendszer kialakítására 1 A találmány tárgya elektroncsövek antiemiszsziós rácsbevonatának újszerű kialakítása, melynél a rácsot olyan Mo huzalból alakítjuk ki, amely huzal felületének a rétegrendszere először ZrC-ból kataforézissel és zsugorítással képezett első rétegből, majd ezen Pt-lből ugyancsak kataforézissel és zsugorítással kialakított második rétegből áll. Találmányunk egyik nálási lehetőségeként rácsait jelöljük meg. — célszerű — felhaszadócsövek antiemissziós Találmányunk részletes ismertetése előtt, röviden vázolni kívánjuk annak műszaki hátterét. Mint ismeretes elektroncsövek rácsainak működésekor, bizonyos hőmérsékleten a rácson káros termikus emisszió alakul ki. Ezen káros hatás kiküszöbölésére már régebben ismeretesek olyan megoldások, amelyeknél a rácsot különböző, az elektron-emissziót nagymértékben csökkentő bevonattal vagy bevonatrendszerrel látták el. Ezeket antiemissziós bevonat néven ismerik. A nagy kilépési munkaértékük miatt pl a nemes fémek alkalmasak e célra. Ezek hátránya viszont az, hogy könnyen ötvöződtek, vagy nagyon erős diffúziós kötést képeztek a hordozóval, aminek következményeként a rácsemisszió ismét jelentkezett. Egyik megoldásként pl. karbid-réteget alakítottak ki a nemes fém és hordozó között, az ötvözés és a diffúzió akadályozására. Az ismert eljárások másik nagy hátránya, a nagy zsugorítási hőmérsékletek — 1500—2000 °C — szükségessége. Végül az al-5 kalmazott Pt rétegnek több műveletben történő kialakítása. Úgy véljük, hogy további részleteket illetően célszerűbb, ha rámutatunk a tárggyal kapcsolatos DAS 1 021502 és 1051991 számú leírásokra, amelyek a vonat-10 kozó irodalmat is tartalmazzák. Kísérleteinkben — amelyek, végül is találmányunkhoz vezettek — arra törekedtünk, hogy az említett két réteget nemcsak tetszőleges vastagságban és minőségben tudjuk a Mo hu-15 zalra felvinni, hanem a zsugoríási hőmérséklet csökkentésére is. Ugyanis tapasztalatunk szerint e két tényező is erősen, befolyásolja a kialakított ahtiemisz-20 sziós réteg tulajdonságait. Találmányunk szerint a Mo huzalon — az ismert elektroforézis útján — kialakított ZrC réteget, az ismert eljárásokban használt hőmérsékleteknél jóval kisebb hőfok értékeken 25 zsugorítottuk kb. 1500 °C-on nagyvákuumban és ezen rétegre a nemesfémet — célszerűen Pt-t — ugyancsak elektroforézissel visszük fel. Ezen második — Pt — réteg zsugorítására ugyancsak kisebb hőmérsékletet — 1000—1300 °C — 30 alkalmazunk nagyvákuumban. Í61846