161727. lajstromszámú szabadalom • Röntgen-televíziós mérőmikroszkóp
5 161727 6 eszköze felhasználható az átvilágított tárgy eltolásánál más irányból való szemlélésre is, amely irány az említett mérési irányra merőleges. Erre a célra a röntgen-televíziós mikroszkópot járulékos eszközzel kell felszerelni, hogy a tárgyat ezen irányban el tehessen tolni. A berendezés működése a következő. A mérés elvégzésére az átvilágítandó 3 vizsgálati tárgyat az 1 munkakamrában a 9 manipulátor 10 fogantyúja segítségével előre meghatározott helyzetbe állítjuk és eközben a 3 vizsgálati tárgynak tényleges helyzetét a 2 ablakon keresztül figyeljük meg, míg a 3 vizsgálati tárgy belső struktúrájának képét a 15 képernyőn szemléljük. A 9 manipulátor segítségével végzett eltolás segítségével a r vizsgálandó elem kontúrját a 3 tárgy belső struktúrájában, a 15 képernyőn látható 16 szálkereszt 17 árnykép vonalába vezetjük és a belső elem koordináta értékeit a 11 skálán leolvassuk. Ezután annyira eltoljuk a 3 vizsgálati tárgyat, míg külső vizsgálandó elemének kontúrja egybeesik az optikai 18 beállító eszköz 20 szálkeresztjének vonalával és ekkor isimét leolvassuk ugyanazon all skálán a koordináta értékeket. Amennyiben eközben szükséges, hogy a tárgyat a 18 beállító eszköz optikai tengelyébe hozzuk, akkor a vizsgálati tárgyat 90°-kal elforgatjuk, vagy pedig a 2Á és 23 tükröket használjuk. A mért távolságot a vizsgálati tárgy elemei belső és külső kontúrjainak leolvasott koordináta értékei különbségeként határozzuk meg. 30 A 2. ábrán bemutatott változattal végzett mérésnél a leolvasott koordináta értékeket az optikai 18 beállító eszköz optikai tengelye és a sugárnyaláb 8 tengelye között levő „A" távolsággal korrigáljuk. • 35 A találmány szerinti röntgen-televíziós mikroszkóp alkalmazása több előnnyel jár; ezeket az alábbiakban említjük. a) A röntgen-televíziós mikroszkóp lehetővé teszi a vizsgált tárgyak belső elemei és külső ele- 40 mei között levő méretek és távolságok mérését és ezáltal a termékek pontosságának ellenőrzését, valamint a termékek gyártás szempontjából való alkalmasságának javítását és egyszerűsíti az elkészült munkadarabok pontosságának ellen- 45 őrzését. b) A találmány szerinti röntgen-televíziós mikroszkóp lehetővé teszi, hogy a szerelés pontosságát és a technológiai, valamint beállítási folyamatok stabilitását ellenőrizzük anélkül, hogy a 50 vizsgálati tárgyat szétbontanánk, vagy szétroncsolnánk. Példaképpen megemlítjük elektronikus vákuumkészülékek katódjain levő oxidrétegek vastagságának a mérését, amelyeket mindezideig az oxidréteg vastagságának optikai méré- 55 2 rajz, 2 Küadásért felel •• a Közgazdasági é 73.6013/4 — Zrínyi Nyomda, Budapest — Fel sével lehetett végezni, a réteg helyileg roncsolt zónájában; ezt a roncsolást az oxidréteget hordozó fémmag koordináta értékeinek megfigyelése és leolvasása céljából végezték. A találmány szerinti röntgen-televíziós mikroszkóp alkalmazásával a mag helyzetét a rönitgencsatornában és a röntgen sugarakban láthatatlan külső oxidrétegfelületeinek helyzetét optikai beállító eszköz segítségével le lehet olvasni. c) Azáltal, hogy közös leolvasó készülék áll rendelkezésre két beállító eszköz számára, megnövekszik a mérőüzem teljesítőképessége és lehetővé válik a mérési folyamat automatizálása az azonos típusú termékek tömeggyártásának folyamatos ellenőrzésénél. d) A röntgen-televíziós mikroszkóp messzemenően alkalmazható vizsgálati tárgyak méreteinek ellenőrzésére, ahol a vizsgálati tárgyakhoz fém és műanyag részeket kell pontosan illeszteni, emellett — mint ismeretes — a műanyag tárgyak a röntgensugarakat gyengén abszorbeálják. Szabadalmi igénypontok: 1. Röntgen-televíziós mérőmikroszkóp, amely röntgen sugárforrást, a vizsgálati tárgyat befogadó sugárzás ellen védett munkakamrát, a vizsgálati tárgynak a munkakamra belsejében való eltolására alkalmas eszközt, valamint a röntgensugárzásra érzékeny televízió képadót tartalmaz a vizsgálati tárgy röntgen árnyképének video-jelekké való átalakítására, azzal jellemezve, hogy legalább egy optikai eszköze (18) van a vizsgálati tárgy (3) röntgenképben fel nem ismerhető külső elemeinek szemlélésére, míg az optikai eszköz (18) optikai tengelye és iránysíkja a röntgensugárnyaláb tengelyéhez (8) képest rögzített. 2. Az 1. igénypont szerinti röntgen-televíziós mérőmikroszkóp kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az optikai beállító eszköz (18) optikai tengelye merőleges a röntgensugárnyaláb tengelyére (8) és a vizsgálati tárgy (3) eltolási irányára. 3. A 2. igénypont szerinti röntgen-televíziós mérőmikroszkóp kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy optikai beállító eszközének (18) a sugárnyaláb tengelyével (8) párhuzamos irányú eltolási lehetősége van. 4. Az 1. igénypont szerinti röntgen-televíziós mérőmikroszkóp kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az optikai beállító eszköz (18) optikai tengelye a sugárnyaláb tengelyével (8) párhuzamos és az optikai beállító eszköz (18) a röntgensugárzásra érzékeny televízió képadóval (7) szinkronizimusban mozgathatóan van elhelyezve. ábra Jogi Könyvkiadó Igazgatója ős vezető: Bolgár Imre vezérigazgató 3
