161401. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nyomtatott áramkörök kiképzésére szolgáló fémbevonatú szigetelőanyagtestek előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI Bejelentés napja,: 1911. II. 26. (!§PÍÍÍ3 - 3?Q) Német Szövetségi Köztársaság-beli elsőbbsége: 1970.11.27. (F 20 10 488.5) Közzététel napja: 1972. III. 28. ^gielent: 1975. II. 15. 161401 Nemzetközi osztályozás: C 23ft—562 Br. HE¥MANN Kurt vegyész, Nyugat-Berlin I}r. BBfRJpH Haiis-Jtirgeü vegyész, Ífyugiit-Í3e?% fplajdojjos; SCHEBING AO. cég, Nyugat-Berlia és 8e%kaiaeo Eljárás nyomjfcatptj; áramkörök kiképzésére szolgáló fémbevonatú szjge|el§a^y agtesjek előálltáéra 12 -A találmány tárgya eljárás olyan szigetelőanyagtestek előállítására, melyeken ragasztás útján fémbevonat van felerősítve és amelyek alkalmasak nyomtatott áramköri alakzat kiképzésére. Ragasztás alkalmazásával felerősített fémtes- 5 tekkel rendelkező szígetelőanyagtestek előállítása önmagában véve ismert. így a német 1 490 374 sz. DAS olyan eljárást ismertet, melynél fémmel bevonandó szigetelőanyagtestek érdesített felületére elsősorban egy első ragasztóanyag réteget és ez- 10 után erre egy másik ragasztóanyag réteget hordanak fel, amelyre azután egy rózvegyületből kémiai bomlása útján rezet választanak ki. Az ilyen módon fémbevonattal ellátott Szigetelőanyagtestek, mint ismeretes, alkalmazhatók nyom- 15 tátott áramkörök előállításához, amikor is ezekre negatív sablont helyeznek és a fémbevonat nem befedett részeit galvanikus úton felerősítik, majd pedig a sablon eltávolítása után a fémbevonatnak lefedett részeit maratással eltávolítják (lásd az 20 1 496 984 sz. DAS-t). A fémbevonatnak a szigetelőanyagtestekre való felvitele az ismert eljárásoknál rendszerint áram nélküli eljárással a ragasztó réteggel bevont testeknek előaktiválása után, ónnal és palládiummal tör- 25 ténik. Ehhez szükséges azonban először a felvitt ragasztóréteg előkezelése, például oxidációs szerek alkalmazásával, melyek segítségével a ragasztóréteg felületét oxidálják vagy lebontják (lásd az 1 519 797 sz. francia szabadalmi leírást). 30 A ragasztóréteg aktiválása és előkezelése tehát az ismert eljárásoknál külön műveletekkel történik, ami igen költséges. A találmány célkitűzése a fémbevonatú szigetelőanyagtestek előállításának egyszerűsítése. Ezt a célkitűzést oldjuk meg a találmány szerinti eljárással, melyet az jellemez, hogy a szigetelőanyagtestre való felvitel után a ragasztót olyan savas oldattal kezeljük, mely oxidálószer és legalább egy nemesfémet yegyülete alakjában tartalmaz. Ez a módszer egy munkamenetben egyesíti a kémiai érdesítést az aktivizálással és ezért lényegesen egyszerűbb, biztosabb és üzemzavarokkal szemben kevésbé érzékeny, mint az eddig iipnert eljárások. Ezenkívül különleges előnye, hogy az ezt követő kémiai fémesítés során a furatokat is érintkezőképessé tesszük, főleg akkor, ha a vezetőlemez előállításhoz katalizált anyagot alkalmazunk, amit ismert módon az aktiválandó komponensekhez hozzákeverünk. Az oldatnak a savas tartományban levő pH-értékre való beállításához előnyösen kénsavat, foszforsavat, fluorbórsavat és egészen vagy részben halogénezett, rövidszénláncú, 4 C-atomot tartalmazó mono- vagy dikarbonsavat, például triklórecetsavat vagy perklórecetsavat, egyedül vagy keverékben és adott esetben ezeknek a savaknak a sóival együtt használunk. Az oldat pH-értéke lehetőleg 1 alatt van, mivel a ragasztórétegek ennél a pH-értéknél különösen jól aktiválódnak.-161401 1