161327. lajstromszámú szabadalom • Villamos vákuummérő berendezés
161327 két elektródát alkalmazunk, melyek közül legalább az egyik szilárd szigetelő réteggel van bevonva. Ez lényeges, és a vákuummérő terében lejátszódó elektromos jelenségekre messzemenő kihatással bíró különbség az eddig ismert vá- 5 kuummérők és a találmány szerinti vákuummérő között. Ennek eredményeként ugyanis a vezetésben részt vevő töltéshordozók csak a szigetelő réteg külső felületéig juthatnak el, de nem léphetnek kölcsönhatásba az elektróda ve- ° zető felületével. Ennek jelentős működésbeli előnye van. Amíg ugyanis az eddig ismert elektromos vákuummérők alapjául szolgáló kisülési csövekben az áramerősség csökkenésével elérkezünk az ún. normális katódesés tartománya- ^ ba, amikor a negatív ködfény már nem borítja be teljesen a katódot, addig a találmány szerinti vákuummérőben ez a jelenség bármilyen kis áramerősségnél sem lép fel, állandóan az anomális katódesés tartományában van a vákuum- 20 mérő. Vagyis az elektródák vákuumtér felőli felületét egyenletes sűrűséggel érik el a töltéshordozók. A beiktatott szigetelő réteg következtében a találmány szerinti villamos vákuummérő csak 25 váltóárammal működtethető. Az elektródák alakja a kisülési csövek elektródáinál megszokott sík lapú kiképzéstől eltérően az egyes kiviteli alakoknál bonyolultabb is lehet. 30 Az egyik elektróda szigetelő lappal való bevonása célszerűen úgy oldható meg, hogy a találmány szerinti vákuummérő edényének legalább egy része átlátszó szigetelő lapból van és ezt fedi be kívülről az átlátszó vezetőből (pl. 35 amorf Sn02 réteg), vagy háló, vagy rácsszerű kiképzésű, vezető anyagból való elektróda. Ezzel lényegében ugyanazt értük el, mintha a vákuumtérbe szigetelő réteggel bevont elektródát helyeztünk volna be. 40 A találmány szerinti villamos vákuummérőben a vákuum mérése azon alapszik, hogy egy adott elektróda-távolság, az elektródákra alkalmazott váltófeszültség és egy adott gázféleség esetében egy jól meghatározott gáznyomás mel- 45 lett indul meg a villamos áram, a villamos kisülés, vagy szűnik meg. Tehát az elektródatávolság változtatásával a kisülés megindulását, vagy kialvását észlelve, — ha a készüléket előzőleg hitelesítettük — vákuumot tudunk mérni. 50 A találmány szerinti villamos vákuummérő néhány példáképpeni kiviteli alakját részletesebben a mellékelt rajzok alapján ismertetjük. Az 1. ábra a találmány szerinti villamos vákuummérő folyamatosan mérő kiviteli alakját, 5 § a 2. ábra a vákuummérő szakaszosan mérő kiviteli alakját mutatja. 1. A folyamatosan mérő villamos vákuummérő (1. ábra) a 3 tartályból és az ehhez csatlakozó 10 kivezető csőből áll, melynek 12 vége csat- 60 lakozik a mérendő vákuumtérhez. A 3 tartályt és 10 kivezető csövet a 8 fenékrész kapcsolja össze, mely műszaki okokból célszerűen elektromosságot vezető anyagból van, vagy ilyen anyaggal van bevonva. A vákuummérő egyik g5 elektródája a 2 szigetelő lapra vitt 1 vezető anyagból való réteg, mely vagy összefüggő (ekkor átlátszó vezető anyagból kell lennie, pl. amorf óndioxidból), vagy hálószerű, vagy rácsszerű kiképzésű vezető. A másik elektródája a vezető anyagból készült, vagy azzal bevont, 6 rúd végére erősített 5 lap. A 6 rúd másik végén a ferromágneses anyagból való 11 tömb van. A 9 nyíláson keresztül a 3 tartály tere kapcsolatban van a 10 kivezető cső terével. A 11 tömb közelében van a 15 mágnes, melynek jobbra-balra való elmozdításával a 11 tömb és vele együtt az 5 elektróda-lap is jobbra-balra mozdul, tehát így az 1 és 5- elektróda közötti távolság változik. Az 5 lap széle a 7 skála közelében van. A skálát a 10 cső közelében is el lehet helyezni, ekkor a 11 tömb széle mutat a megfelelő skálaértékre. A villamos kisülést létesítő 1000—5000 V-os, tetszőleges hullámalakú váltófeszültséget a 13 áramkivezetéseken keresztül visszük az elektródákra. A találmány szerinti folyamatosan mérő villamos vákuummérő egyik kiviteli alakjában az áramkörbe a 14 ár am jelzőt (indikátort) iktatjuk. Ez célszerűen egy erősítővel összekapcsolt hangszóró vagy fényforrás. A találmány egy másik kiviteli alakjában a 14 indikátor elmarad, helyette az 5 elektródalemezt az 1 elektróda felé eső oldalán és/vagy a 2 szigetelő lap 8 lap felőli oldalán katódlumineszcenciát mutató anyaggal vonjuk be. A vákuum mérésének megkezdésekor az 5 elektróda-lemezt az 1 elektróda közeléből fokozatosan eltávolítjuk. A villamos váltófeszültségtől és gázminőségtől függően egy adott, néhány mm-től néhány dm-ig terjedő távolságnál ugrásszerűen felerősödik (gyakorlatilag észrevehetővé válik) a vákuummérő áramkörében az áram, értéke gyakorlatilag 0-ról néhány juA-re növekszik. Ezt az egyik kiviteli alaknál a 14 indikátor működése (búgó hang vagy látható fény), a másik kiviteli alaknál a lumineszkáló por felvillanása és folyamatos világítása jelzi. A gáznyomás értéke ekkor a 7 skálán leolvasható. A vákuum mérését úgy is el lehet végezni, hogy az 5 elektróda lemezt a legtávolabbi helyzetéből közelítjük az 1 elektróda felé. Ekkor az áramkörben kezdettől fogva van áram, ha a gáznyomás értéke a vákuummérő mérési határán belül van, (búg a 14 hangszóró, világít a lámpa, vagy világít a 4 lumineszkáló réteg) és ez az áram egy adott elektróda-távolságnál ugrásszerűen legyengül (gyakorlatilag megszűnik). Ez a távolság az előbb vázolt, felvillanásnál, áramerősödéskor észlelhető távolságtól néhány mm- vagy cm-rel eltér, ezért a kétféle mérési módnak megfelelően kétféle skála tartozik a találmány szerinti vákuummérőhöz. 2. A találmány szerinti villamos vákuummérő szakaszosan mérő kiviteli alakjában a vákuummérőt (2. ábra) az egymással összeköttetésben levő 19, 20, 21,... 24 tartályokból álló tartályrendszer alkotja. (Értelemszerűen a tar-2
