161327. lajstromszámú szabadalom • Villamos vákuummérő berendezés

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1963- XI. 28. (JE—379) Közzététel napja: 1972. III. 28. Megjelent: 1973. VI. 30. 161327 Szabadalmi osztály: Nemzetközi osztály: G 01 1 21/34 H 01 j 41/00 Decimái osztályozás Feltaláló: Jeges Károly főiskolai tanár, Pécs •'\i 4/ v ti... *f Villamos vákuummérő berendezés 1 Számos olyan villamos vákuummérő ismeretes, mely gázkisülésen (ritkított gázok elektromos vezetésén) alapszik. Ezekre jellemző az, hogy mindkét elektródájuk benyúlik a kisülési cső belsejébe, tehát a vezetésben részt vevő pozitív és negatív töltéshordozók (ionok, elektronok) egy része közvetlen érintkezésbe kerül a jól vezető elektródákkal. Az eközben jelentkező, az áram erősségétől, feszültségétől, a vákuummérő edényének és az elektródák geometriai alakjától, az elektródák egymástól való távolságától, valamint a gáz fajtájától függő igen változatos és bonyolult jelenségek valamelyike szolgál a gáznyomás mérésének alapjául. Ezek a vákuummérők azonban kevéssé pontosak, általában csak nagyságrendben adják meg a gáznyomás értékét. így pl. a Burrows-féle vákuummérővel még a 10; 1,5; 0,5; 0,01; 0,001 Hgmm nyomáshatárok is csak bizonytalanul (becsléssel) állapíthatók meg. Egy másik megoldású vákuummérőben (skanascop) a kisülés fluoreszkáló ernyőt gerjeszt. Az ernyő lumineszkálásának az intenzitása alapján következtetnek a vákuum nagyságára, mivel az intenzitás a nyomás függvénye. Egyrészt a lumineszkáló anyag öregedése, másrészt a fényintenzitás-változás meghatározásának bizonytalansága csökkenti a pontosságot. Ugyancsak gázokban végbemenő villamos kisülésen alapszanak a Penning-rendszerű hidegkatódos vákuummérők. Ezek azonban idővel elvesztik érzékenységüket és reprodukálhatóságukat. (Katódporlás, átvezetés az elektródák 5 között stb.) A találmány szerinti villamos vákuummérő a gázokban végbemenő villamos kisülésen alapuló vákuummérők tökéletesebb megoldását adja. Méréshatára nagyjában a fentebb említett 10 vákuummérőkével azonos, azonban mérési pontossága azokénál nagyobb. A használat folyamán elkerülhetetlen öregedési folyamatok, melyek azokénál sokszorosan hosszabb idő után jelentkeznek, mérési pontosságát nem befolyá-15 solják. További előnye az eddig ismert villamos kisülésen alapuló vákuummérőkkel szemben az, hogy elegendő a sorozatban gyártott készülékek prototípusán elvégezni a hitelesítést, az így ka-2o pott skála nagy pontossággal minden készülékhez alkalmazható. A hálózati feszültség ingadozására nem kényes, így pl. a folyamatosan mérő kiviteli alak egy kísérleti példányánál + 10%-os feszültségingadozás a vákuumérték le-2J3 olvasásánál a 0,04 torr nyomásérték környezetében + 1,2%-os hibát okozott. Tehát hálózati stabilizátorra nincs szükség. A találmány szerinti villamos vákuummérőben, mely a mérendő térrel összeköttetésben 30 álló tartályból áll, egymással szemben olyan 161327