161324. lajstromszámú szabadalom • Izotópos mérőeszköz bevonatréteg-vastagság mérésére

161324 pos mérőeszköz fejgeometriáját mutatja be. A görbék analíziséből kiderül, hogy a detektor tengelynek a sugárforrás tengelyéhez viszonyítottan aszimmetrikus elrendezése a mérési pontosság lényeges fokozásával jár, ha a két tengely hajlásszöge a 30°—60° határok között mozog. Az aszimmetrikus elrendezés mellett, szemben a szimmetrikus elrendezéssel, a mérési hiba lényegesen kisebb, csökkenő rétegvastagsággal pedig még kisebbé lesz, ha például a Cd/Fe réteg vastagsága 14 fim helyett csak kb. 7,5 p; a mérési pontosság fokozódása 20—30% körül van. A 2 alapon levő 1 rétegre a 3 sugár-forrásból kollimált béta-sugár áramot bocsátunk; ennek a sugár-forrásnak olyan, csavarmenetszerű állítószerkezete van, amellyel a sugár-forrást axiálisan lehet elmozgatni a vizsgálandó test irányában és vissza. Ezzel a 3 sugár-forrás és a vizsgálandó test közötti távolság beállítható. A sugár-forrás tengelye az 5 mérőfej szimmetria-, tengelyével 25°-ot meg nem haladó hajlásszöget zárhat be. Az 1 réteg felületén szétszóródó béta-sugár áram eléri a 4 detektort. Ez az elektronikus tömb felé olyan jeleket ad le, amelyeket, itt, mint a rétegvastagság mérőszámát lehet leolvasni. Az elért mérési eredmények pontosságát nagymértékben fokozza az aszimmetrikus mérőfej-geometria, egyúttal pedig feleslegessé teszi a nagy aktív belsőterű sugárzás-detektorok használatát, amelyek drágák és bonyolultak, helyettük lehetővé teszi, hogy olcsó, egyszerű és hagyományos szerkezetű detektort használjanak. Ez emellett még azért is előnyös, mert a hasznos jel, valamint a háttérsugárzás viszonyszáma kedvező. 10 15 20 25 30 35 40 A csupán néhány négyzetmilliméter nagyságú felületek rétegvastagságának mérése céljából alkalmazásra kerül a sugár-forrásnak csavarmenetes szabályozószerkezettel való tengelyirányú mozgatása. Ez a szabályozás elengedhetetlen a sugár-forrás és a vizsgálandó test közötti távolság optimális finom beállításához. Fontos ez még azért is, hogy a sugárköteg ne érjen a mérendő testen kívüli felületeket is, mivel ez a mérés szempontjából közömbös felületek felesleges háttér-sugárzása következtében hátrányosan befolyásolná a mérési pontosságot, valamint hátrányosan megváltoztathatná a hasznos jel és a háttér-sugárzás viszonyszámát. Szabadalmi igénypontok 1. Izotópos mérőeszköz bevonatréteg-vastagságmérése, béta-sugárzás szórt reflexiójának felhasználásával, rádioizotópsugárforrásból és sugárzás-detektorból álló mérőfejjel, azzal jellemezve, hogy a sugár-forrás (3) és a sugárzás-detektor elrendezése a rétegfelületre merőlegesen álló mérőfej-szimmetriatengelyhez (5) viszonyítottan aszimmetrikus, továbbá a sugárforrás (3) és a detektor (4) tengelyeinek egymáshoz viszonyított hajlásszöge 30°—60° határok között, állandó nagyságú és a sugár-forrás (3) tengelyének a mérőfej szimmetriatengelyével (5) alkotott szöge a 0°—25° határok között állandó. 2. Az 1. igénypont szerinti izotópos mérőeszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a sugár-forrás (3) tengelyirányban folyamatos állítású előtoló szerkezeten van elrendezve. 2 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 73-1090 Pécsi Szikra Nyomda — F. v.: Melles Rezső