160544. lajstromszámú szabadalom • Tökéletesített eljárás lyukmentes vékonyrétegek vákuumpárologtatással történő előállítására

16(0544 2. A fémréteg előállítása Az adott vákuurnipárologtatóbain a réteg minősége által megkívánt nyomáson és hordozóhőmérsékleten mintegy 500 A átlagos vastagságú fémréteget párologtatunk fel párologtató forrásból (az alkalmazott berendezéstől függően ez esetleg több hordozón egyidejűleg végezhető el). A párologtatóból kivett hordozót zárt tartályban szűrt, kétszer átdesztillált vízbe helyezzük, s a tartályban ultrahangos kezelésnek vetjük alá, amely kezelés eltávolítja a felületről a fémrétegben az eljárás során keletkező feszültségek hatására meglazított szemeseket (az ultrahangos kezelés helyett alkalmazható más mechanikai behatás, pl. dörzsölés). Ezután közbenső száradás mellőzésével végrehajtjuk a centrifugában, forgatás közben való öblítést desztillált vízzel, majd ugyanott szárítjuk. Az így előkezelt és már réteggel fedett hordozóra újabb, mintegy 500 A átlagos vastagságú fémrétegeit párologtatunk úgy, hogy a párologtatás alatt a hordozó felületét a teljes féltérszögből érje gőzsugár. Ez a párologtatás úgy valósítható meg, hqgy egy félkörív mentén helyezünk el párologtató forrásokat és eközben a hordozót a függőleges tengely körül forgatjuk, vagy pedig egy párologtató forrást használva a forrást függőleges tengelyben helyezzük el, amely körül a hordozót forgatjuk és egyidejűleg vízszintes tengely körül billegtetjük 0—±90° szögtartományban, a párologtatás során. A forgatás és ibillegetés periódusai hányadosának irracionális számot kell adnia. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás rétegeknek vákuutmpárologtatás útján történő előállítására, melynek során az első párologtatási művelet után a felületet mechanikai igénybevételnek 'tesszük ki i(pl. ultrahangos behatás, egyenletes törlés), majd második párologtatási műveletet hajtunk végre, azzal jellemezve, hogy az első párologtatást pontszerű forrásból, irányított szögben végezzük, majd a második párologtatást irányfüggetlenül, egyenletesen végezzük a teljes féltérszögből. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első párologtatás során 300—800 A átlagos vastagságú réteget viszünk fel. 5 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első párologtatás során kisméretű forrásból a hordozót érő anyagsugár irányának a beesési merő-10 legessel bezárt szöge 20—80° közötti érték. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első párologtatási műveletet és az azt 15 követő mechanikai behatást — esetleg többször is — megismételjük és csak ezután végezzük el a második — kizárólag féltérszögből egyenletesen történő — párologtatást. 20 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módija, azzal jellemezve, hogy a második párologtatási művelethez a befogott hordozó körül félkörív mentén rendezünk el párologtató forrásokat és párologtatás közben 25 a hordozót függőleges tengely körül forgatjuk. 6. Az 1—4, igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a második párologtatási művelethez egy 30 párologtató forrást helyezünk el a függőleges tengelyben és a hordozót e tengely körül forgatjuk, s a párologtatás tartama alatt forgatás közben vízszintes tengely körül billegtetjük is. 35 7. Az 1—6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a második párologtatási műveletet két vagy több ízben végezzük el. 40 45 8. Az í—7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a 'hordozónak a párologtatáshoz való előkészítése során azt olyan marószerben való maratásnak vetjük alá, melynek összetétele 5% HF, 35% HNO3, és '60% H2

0. >9. Az 1—8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az eljárás során szükséges végső öblítést és 50 szárítási műveleteket centrifugában végezzük. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7307102. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3