160540. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék aszférikus optikai felületek gyártására
160540 5 kezesi körtől számítva a gyűrű sorszáma, X pedig a megvilágító fény hullámhossza. Az érintkező gömb sugarát az R = /p3 + yo 2 egyenlet határozza meg. , Forgásellipszoid felület készítése esetén, amikor az ellipszis egyenlete <x-a)* + b2 1, és e az excentricitás, a gyűrűk távolsága az y =jb_ a j a2 — nA (a—x0 )+ ^ + I2 j a2 — nA (a—x0 )+ ^ + ae f^(a-xo)+( íT összefüggésből kapható. A P (xo, yo) pontban érintkező gömb sugarát b 15 R< egyenletből kapjuk. a2 — e 2 (xo — a) 2 A fenti adatok figyelembevételével a szférikus mesterdarab átmérőjét a megfigyelni kívánt gyűrűk számának megfelelően választjuk meg. Legkedvezőbb esetben, vagyis ha az egész vizsgált felület egyetlen gyűrűrendszerrel lefedhető, a szférikus mesterdarab átmérője a vizsgálni kívánt aszférikus felület átmérőjének közelében van. Ezek után kiszámítjuk, hogy az előírt paraméterekkel rendelkező, gyártani kívánt felületnél hol jelennek meg az interferenciagyűrűk és ezekre a helyekre a szférikus mesterdarabon feljelöljük az interferenciagyűrűkkel egybeeső jeléket. Az eljárás folyamán a vizsgálni kívánt aszférikus felület és szférikus mesterdarab közé távolságtartó testet vagy testeket helyezünk, abból a Gélből, hogy a vizsgálni kívánt és vizsgáló felület közvetlen érintkezését, sérülését megakadályozzuk. Az aszférikus felület előállítása folyamán időnként ráhelyezzük a szférikus mesterdarabot és a nyert interferenciagyűrűk, illetve alakzatok, valamint a szférikus mesterdarabon levő jelölések megfigyelhető eltérései alapján az aszférikus felületet korrigáljuk, helyesbítjük. A találmány szerinti készülék 1. ábrán vázolt példaképpeni kiviteli alakjánál 1 spektrállámpa fényforrását 2 kondenzor 3 színszűrőn keresztül 4 fényrekesz síkjára képezi lé. Az előállított monokromatikus sugárnyalábot részben áteresztő 5 tükör szférikus 6 mesterdarabra vetíti. így az előállítani kívánt aszférikus 7 forgásfelület és a 6 mesterdarab felülete között létrejövő interferenciagyűrűk az 5 tükrön keresztül megfigyelhetők. A gyűrűk egymástól való távolsága az 1 fényforrás fényének hullámhosszától, fázisállapota az aszférikus 7 felület és a szférikus 6 mesterdarab közé helyezett 8 távolságtartók vastagságától függ. Ezek alapján a gömbfelület sugara és az aszférikus forgásfelület paramétere ismeretében a gyűrűk egymástól való távolsága előre kiszámítható. 20 25 30 35 40 45 50 55 A 3. ábra feltünteti a 6 mesterdarabon kijelölt, az előbbiekben számítás útján meghatározott interferenciagyűrűknek megfelelő 9 etalon jeleket. . Az ábrákon jól látható, hogy a 6 mesterdarab 8 távolságtartó testekikel van a vizsgálandó 7 felületre felhelyezve. Amennyiben a szférikus 6 flmesterdarab ós az aszférikus 7 felület útján előállított interferenciagyűrűk nem esnek egybe a 6 mesterdarabon kijelölt 9 etalon jelekkel, úgy az eltérésnek megfelelően a 7 felülétet korrigálni kell. A 8 távolságtartó vastagsága befolyásolja az érintkezőkör mentén létrejövő interferencia fézisállapotát, ami a formálásnál esetleg bizonytalanságot okoz. Ennek elkerülésére a szférikus 6 mesterdarabot enyhén rányomjuk a 8 távolságtartókra és így a kívánt, előre meghatározott állapot könnyen biztosítható. A találmány szerinti eljárás és készülék fontosabb előnyös tulajdonságai a következők: A szférikus mesterdarab összehasonlító gömbfelületének felfekvése egyértelműen, érintkezés nélkül és karcolásmentesen biztosítható. Az interferenciagyűrűk rendszere jól áttekinthető. A gyűrűrendszertől való eltérés magy pontossággal érzékelhető és az eltérésből számszerűen lehet a felület hibájára következtetni. A találmány nincs a példaképpen ismertetett alkatrészek kiviteli alakjára korlátozva. Ezeket hasonló működésű és hatású, azonban más kialakítású alkatrészekkel helyettesítve a találmány védelmi köre nem változik meg. így például az interferenciagyűrűk, illetve alakzatok megfigyelését szemmel való, illetve közvetlen megfigyelés helyett végezhetjük úgy is, hogy a részben áteresztő 5 tükör révén az etalonlemez képét egyesítjük a 6 mesterdarab, illetve az azon jelentkező interferenciajelek képével. Az említett etalon jellemez helyett az aszférikus felület tengelyébe helyezett középvonalú távcsövet is alkalmazhatunk, amikor a vonatkozási jelek a távcső jellemezére vannak előre feljelölve. 60 65 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás aszférikus optikai felületek gyártására, amelynél a felületek gyártás közbeni vizsgálatát mesterdarab segítségével kapott interfe-3
