159833. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nemesfém-redukáló mintázat előállítására

159833 21 22 kiegészítő hatóanyag segítségével, mint amilyen a borkősavas etiléndiamin, káliumeianidok vagy nátriumtartarát. Az árammentes plattirozó fürdők hosszú idejű stabilitása megszűnhet a spontán lebom- 5 lás következtében. A stabilitást nagymértékben javíthatjuk a plattirozó 20 fürdő állandó szűrésével (amelynek készülékét nem ábrázoltuk), és azáltal, hogy stabilizáló adalékot adunk hozzá, mint például cianid (CN~) iont kb. 0,05 g pro liter mennyiségben. Az ilyen árammentes plattirozó fürdők heteken keresztül használhatók. Az 58 tartályban levő galvanizáló 22 fürdő valamelyik kereskedelmi változat lehet mint például a szokásos rézszulfát oldat. 'Előnyösen a 22 fürdő nagy sebességű, például rézfluoroborát elektrolitét tartalmaz és 1,3 x 10~3

cm/ /perc sebességű galvanizálást tud biztosítani. Az 58 tartályban az árammentesen plattirozott vezető fémmintázatot katódként kötjük a galvanizáló 70 áramforrás negatív kapcsára a vezető 32a görgőn át. Ez a villamos összeköttetés megköveteli, hogy a fémmintázat villamosan folyamatos legyen. Ez a folyamatosság két módszer közül az egyikkel biztosítható. Hivatkozva az 5a ábrára, a kívánt fémmintázat eredendően folyamatos lehet úgy, hogy ha az egyenes 72 kábelmintázat, amelyben több párhuzamos vezető 73 csík van. Változatképpen a kívánt fémmintázat. lehet eredendően megszakított is, mint amilyeneket az 5b. ábrán a 74 mintázatok mutatnak. Ezen utóbbi 74 mintázatok folyamatosan előállíthatók a 11 szubsztrátumon, annak egymás után következő 11a részein. Hogy lehetővé tegyünk ilyen 74 mintázat folyamatos gyártását is, a mintázat egy vagy több közös 76 gyűjtősínt tartalmaz, amelyek összekötik a 74 mintázat egyes különálló 78 útvonalait, valamint sorban bekövetkező 11a részeken egymás mellett kialakított megfelelő 74 mintázatokat is. Ezek a közös 76 gyűjtősinek érintkeznek a 32a görgővel és létrehozzák a kívánt villamos folyamatosságot. Amint azt az 5c és 5d ábrák mutatják, az 58 tartályban történő galvanizálás után a 74 mintázatok először szétválaszthatok a 80 vonalak mentén, majd a 76 gyűjtősineket levágjuk a 82 vonalak mentén, hogy ezáltal egymástól villamosan elszigeteljük az egyes 78 útvonalakat. Változatképpen 84 lyukak lyukaszthatok az egymástól elválasztott 74 mintázatokba, hogy ezáltal elszigeteljük a 78 útvonalakat a 76 gyűjtősinektől. Ez a változat a 76 gyűjtősinek fenntartását eredményezi a szubsztrátum 11a részén, ami bizonyos esetekben hasznos lehet. Visszatérve ismét a 2. ábrára, az 58 tartályban galvanizáló 86 anód is össze van kötve a galvanizáló 70 áramforrással. A galvanizáló 86 anód két részből állhat, nevezetesen egy alsó nyújtott 88 részből, amely általában párhuzamos az 58 tartályban levő 11 szubsztrátummal és egy felső 90 részből, amely elhajlik a 11 szubsztrátumtól azon pont alatt, ahol az belép a galvanizáló 22 fürdőbe. A 90 rész elhajlása megakadályozza, hogy a szubsztrátumra árammentesen ráplattirozott fémmintázat ki legyen téve a nagy áramsűrűségű galvanizáló áram hatásának mindaddig, amig nincs elégséges fém . rágalvanizálva. Különösen, vékony árammentes lerakásnál fordul elő „átütés" vagy „átívelés", miután ezeket erős galvanizáló áram hatásának teszszük ki és a 22 fürdőben nagy a savtartalom. Ennek megfelelően, a 90 anódrész elhajlik, hogy ezáltal csökkentse az áramsűrűséget az árammentesen plattirozott fémmintázatnak az 58 tartályba való belépésénél. Az ilyen csökkentett áramsűrűség csökkenti a galvanizált fém felépülésének sebességét, de ez a sebesség elégséges, úgy hogy amikor a 11 szubsztrátum eléri a 88 anódrészt, a lerakott anyag ellen tud állni a nagyobb áramsűrűségnek. Rátérve a 3. ábrára, ez mutatja az 50 eszközöket, amelynek segítségével a fotopromotorral bevont 11 szubsztrátumot szelektíven aktinikus sugárzásnak tesszük ki (1. ábra, 17). A 11 szubsztrátum meghajlítva körül van vezetve két feszítő 100 görgőn, valamint exponáló 101 hengeren vagy dobon. A görgők forgathatóan vannak szerelve a 101 henger alatt két 102 tartóra, amelyek között helyezkedik el a 101 henger. Megállapítottuk, hogy ezen találmány szerinti aktinikus sugárzást csillapítja és valóban csaknem teljesen lezárja a közönséges üveg, a műanyag, a víz, a levegő stb. Ennek megfelelően a 101 henger kvarcból, kvarccal kapcsolatos üvegből vagy boroszilikátból készül, mert azt találtuk, hogy ezek nem csillapítják jelentősebben a sugárzást. A 101 kvarc henger egyik felületére maszkoló 103 mintázat van helyezve és ezáltal az 1. ábra szerinti 18 maszkot állítjuk elő rajta. Hogy a maszkoló mintázat a végső fémmintázatra vonatkoztatva negatív vagy pozitív, az a 14 fotopromotor típusától függ, vagyis, hogy az negatív vagy pozitív, amint azt már korábban tárgyaltuk. A maszkoló 103 mintázat bármilyen anyagból lehet, amely nem átlátszó a 17 aktinikus sugárzás számára, de előnyösen fekete tinta, rubinvörös festékanyag vagy fotoreziszt anyag festékkel vagy anélkül. Tipikusan a maszkoló 103 mintázatnak olyan anyagnak kell lennie, amely alkalmas egy /*-nál vékonyabb vonalak meghatározására, tekintettel arra, hogy a találmány szerinti eljárás alkalmas ilyen méretű nemesfém mintázat előállítására, továbbá olyannak, amely teljesen lezárja az aktinikus sugárzást. Megjegyezzük, hogy a 101 henger sehol sem érintkezik a 102 tartókkal vagy a 100 görgőkkel. A 11 szubsztrátumban levő feszültség, amely a 40 felvevő henger működéséből ered, 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 11