159181. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fémek és félvezető anyagok oxigén-, és bórtartalmának meghatározására termikus neutronokkal történő besugárzás útján végbemenő másodlagos triton-magreakciók alapján
159181 A vizsgálatokhoz 1 cm 2 összfelületű mintákat használtunk, amelyeken 17%. polisztirol kötoanyagtartalmú litaum-fluorid benzoics szuszpenziiójából ismételt bemártással kb. 0,6 mm vastag, jól tapadó réteget állítottunk elő. Kétórás besugárzás után a minta felületéről a litiumtartalmú réteget eltávolítottuk, majd a minta kémiai feloldása után a 18F izotópot sziliciumdioxid jelenlétében mikrodesztillációval elválasztottuk, és gamma-spektroszkópiásan mértük. Alumí-Oxi- nium- Térfcdálási oxid Felületi gáti feszült- réteg- oxigén oxigén ség vastag- fig/cm2 atom/ V sag /cm3 psm ' Csúcsaktivitás epm 60 0,0816 13,!8 3,2-lO19 7340 80 O,il'09O 18,4 4,3 • 1.019 9150 100 0,1360 23,0 5,4-1019 12200 2. példa: Különböző ideig tartó hőkezeléssel polírozott felületű szilícium egykristály szeleteken interferencia mikroszkóppal ellenőrzött vastagságú szilicium-oxid rétegeket állítottunk elő. Az 1 cm2 felületű és kb. 300^500 pica vastag mintákon 87% litiumpor és 13% szilikongumi kötőanyagtartalmú szuszpenzióból bemártással 0,5 mm vastag tapadó réteget állítottunk elő. Két órás neutronbesiugárzás után a felületi litiumréteget eltávolítottuk, és a 18F izotóp aktivitását ronesolásmentesen koincidencia mérési módszerrel határoztuk meg. Sziliciumoxid Felületi Térfogati Koinc. rétegvasoxigén oxigén aktivitás tagság fig/cm2 atom/cm3 cpm fim 0,0950 11,7 3,ß-il0i9 4532 0,2200 27,2 •8,3-HO^ 10200 0,4500 55,7 17-1019 19630 Figyelembevéve az impulzus számlálás statisztikus szórását, 100 cpim aktivitás még elfogadható hibán belül mérhető, ezért a fenti példa alapján az oxigén meghatározás érzékenysége 10~7 g/cm 2 , illetve 5-10 17 atom/cm 3 . A mérés pontossága + 25%. 5 3. példa: Két különböző bór-doppolt félvezető sziliciumból 1 cm2 felületű és kb. 300—400 jum vastag mintákat készítettünk. A megfelelő políro-10 zott és tisztított mintafelületekre vákuumpárologtatással kb. 50 /ím vastag litiumfluarid réteget vittünk fel. Egyórás termikus neutronbesugárzás után. a- felületi litiumréteget eltávolítottuk majd megfelelő berendezésben végzett 15 kémiai maratás és elválasztás után mértük a "C izotóp aktivitását. 20 25 S0 Fajlagos Si minta ellenállás ohmem "C aktivitása cpm 1. 2, 8-10"2 5•lO"3 2(63 489 B-tartalom atom/om3 1,1 -1018 2-101 s A mérési eredmény ékből következtethető meghatározási érzékenység 5 • 1O17 atom/cm 3 . Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás fémek és félvezető anyagok, oxi" gén-, és bórtartalmának meghatározására termikus neutronokkal történő besugárzás útján 35 végbemenő másodlagos triton-, és -magreakciók alapján, amelyre jellemző, hogy besugárzás előtt a minták felületén litiumiból és/vagy vegyületeiből gumi műguimi, szilikoingumi és/ vagy műanyag kötőanyaggal vagy vákuumpá-40 rologtatással felületi réteget képezünk és ennek besugárzása után a keletkező izotópok aktivitását egy vagy többcsatonnás analizátorral mérjük. 2. Az 1. igénypont szerinti elj<árás foganato-45 sítási módja, amelyre jellemző, hogy a minta beágyazását 5—50% kötőanyagtaritalmú litium és/vagy vegyületeinek organoszuszpenziójából végezzük bemártással, felszórással vagy filmképzéssel. 50 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítás! módja, amelyre jellemző, hogy a besugárzandó mintát fröccsöntéssel vagy sajtolással készült litium és/vagy vegyületeit tartalmazó termóplasztikus műanyagba, célszerűen poly-55 stirol vagy polietilén tokban helyezzük el. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7207049. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3
