159123. lajstromszámú szabadalom • Berendezés ionporlasztással készült vékony szigetelő réteg előállítására

159123 1 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7108849. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3 vétlen környezetében, előnyösen a oélelektródatarítóra (5) fémes érintkezéssel vannak elhelyezve. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektronsugárforrás fcatóddal (2) ellátott fémes ház (3), amelynek egy vagy több, előnyösen résalakú és a célelektróda (6) irányába mutató kibocsátó nyílása, valamint a házon szigetelten elhelyezett rekesze (4) vagy rekeszrendszere van.