159075. lajstromszámú szabadalom • Eljárás monolitikus félvezető eszközök előállítására és előállított félvezető eszközök

153075 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 19/00 FIG. I 22 ,26 25 23 I , 21 V7 V37 fíi ,33 ,^39 ,~3& Imiin r\\ 35 /OO ,'OÜ iiiiiii^~~v I II I I II I u ,. IHIHIIII'"»"" V -34 ,47 -i ^32^36 11 7 II FIG. 2 ,n r42

FIG. 3 /" S43 Tg^®^38886§®&m^K8g®m8&Kffiimsäm£®gm& 72P.:

/.y<>. :•/•/• -41 FIG. 4 46, r

D ,51 FIG. 5 46, 53, f6i FIG. 6