158726. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elemek forrasztására hordozóhoz

5 158726 6 tett aranyfóliát semleges kályháiban végzett felforrasztáshoz alkalmazzuk, akkor a titán jelenlétében megnöVeülhető a szalagsdbesség, és a kályha maximális hőfoka, a szokásos 550—600 C°-ról 450—500 C°-ra csökkenthető. b) példa: Integrált áramkör "szerelőszalagra, melynek középső zónáiban a felforraszttások és a termokoxnpressziós költések helyét lokálisan 5—6 /x-ra megvastagítjuk, pl. helyi — részlegesen fedietjt — galvanizálással vagy mifcroporiasztással, a megvastagított aranyrétegre a forrasztás helyén a többi felületek fedésével az a) példában leírtak szerint króm réteget viszünk fel és a továbbiakban az előző példa szerint járunk el. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás félvezető elemek — különösen Si elemek — forrasztására hordozóhoz (— pl. állványhoz, szerelőszalaghoz —) félvezető —arany — harmadik alkotóból álló hármas rendszer felhasználásával, azzal jellemezve, hogy a harmadik alkotót, ami Ti, Be vagy Or vákuum-5 párologtatással az Au fólia egyik felületére ráviszünk 50—1000 Ä — előnyösen 100—200 A vastagságiban, az Au fóliát a fémmel bevont felületével ráhelyezzük a félvezető felületére, majd hőközléssel — a szokásos berendiezések-10 ben — a forrasztást kialakítjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az Au fólia felületére felvitt Ti, Be, vagy Gr-réteget 15 — vákuumiban — hőkezeljük miáltal azt az Au fólia felületébe diffundáltatjuk és/vagy ötvözzük, majd a továbbiakban az 1. igénypont szerint járunk el. 20 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a Ti, Be, Cr, réteget a hordozó felületén kialakított Aurétegre visszük fel, majd a továbbiakban az 1. igénypont szerint járunk el. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7108183. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest. V., Balassi Bálint utca 21—23.