158606. lajstromszámú szabadalom • Eljárás elektromos mikrotechnológiák szerelési műveleteinek tökéletesítésére
158606 3 ' 4 egyéb nagyfrekvenciás mikroáramkörök termokompresszios műveleteinél, melyeket olyan termokompresszios szerkezetekkel végzünk, melyéknél a termokompresszios ék egy hosszú karon csapágyazott, ahol a termokompresszios kötéshez szükséges erőt,; beállítható súlyerő idézi elő, mely erő következtében a tarmokompileszsziós ék a termokompresszió folyamán a hosszú kar csapágya, mint forgástengely körül a termokompresszios hely alá is billenhet és az ilyen termokompresszios szerkezetek felhasználásával a termokompresszióval bekötött huzalrésznek a folyamatosan adagolt huzalrésztől való különválasztására, valamint a huzalirány és a huzalvég következő termokompresszios műveletre való előkészítésére szolgál, éspedig olyképpen, hogy a kivezető elemre történő termokompresszios kötést követően a huzalt a mikroáramkörön létesítendő következő termokompresszios kötés irányával párhuzamosra állítjuk és a kivezető elemre fektetjük, majd a termokompresszios éket a kivezető elem kiválasztott éle közelében a huzalra helyezzük, s ezt követően a termokompresszios éket a huzal mentén a folyamatosan adagolt huzalrész az előzőkben beállított irányában a kiválasztott élen túl csúsztatva a huzal igénybevétele nyomóról, nyíróra változik, és a lebillenő termokompresszios ék a huzalt elnyírja. A folyamatosan adagolt huzal irányítását és tökéletes végkiképzését eljárásunk biztosítja minden utólagos huzalelivágás nélkül. Ez a feltétel akkor teljesül maradéktalanul, ha a termokompresszios ék huzal mentén történő elmozdításánaik sebessége olyan kicsi, hogy a termokompresszios ék a kiválasztott élen túlra történő huzalátmérőnyi huzalirányú elmozdulása alatt legalább 10 huzalátmérő hossznyi és a huzalirányra merőleges elmozdulást végez. Eljárásunkhoz szükséges termokompresszios ék két kiviteli formáját adjuk meg: 1. A termokompresszios ék végkiképzése csonkagúla alakú. A fővágóél elhelyezkedési szöge 0—20o -ig terjed, a csonbagúla fedőlapja és a palást lapok éleinek maximum 2 mikrométer lekerekítési sugaruk van. ;2. A termokompresszios ék végkiképzése félhenger alakú, amelynek csúcssugara az alkalmazott huzalátmérővel egyenlő. Eljárásunknak különös előnyei vannak a mechanikailag alkalmazható legkisebb huzalátmérők esetén. Ezekben a mérettartományokban a makroszkopikus technológiákban ismert eljárások nem alkalmazhatók. ••:•-• Az eljárás alkalmazásával a huzal vége egyenes marad, átmérője és szilárdsági jellemzői nem változnak. A változatlan huzalalak és szilárdság egyenletesebb, ezért jobb minőségű termokompresszios kötések képződnek, mint az ismertetett korábbi eljárások alkalmazásánál. Másodlagos elvágásra nincs szükség és ez huzal-megtakaritást jelent, ugyanakkor a művelet végzését gyorsítja. A fentiékben leírt folyamatos termokompresszios kötés a mesa tranzisztorok megbízhatóságát jelentősen fokozza, mivel a leggyakoribb . meghibásodás a gyenge termokompressziók elválása. Eljárásunk alkalmazása különösen célszerű egyedi félvezető eszközöknél, integrált áramkörök szerelésénél, valamint vékonyréteg és hibrid áramkörök szerelésénél. Az elmondottak könnyebb megértésére eljárásunkat a nagyfrekvenciás germánium mesa tranzisztor szerelési példáján —, az 1, 2, 3, 4, 5 ábrák felhasználásával — mutatjuk be. Az alkalmazott huzal aranyból készül és átmérője: 7,5—1-5 mikrométer. Az ábrák jelölései: 1. germánium mesa tranzisztor, 2. huzal, 3. kivezető elem (tranzisztor állványláb), 4. kiválasztott él, 5. termokompresszios ék, 6. folyamatosan adagolt huzal. Az 1. ábra összeszerelt nagyfrekvenciás germánium mesa tranzisztor rajza. 2. ábrán látható a germánium mesa tranzisztor szerelése közben eljárásunk első fázisa, ahol a kivezetőre történő termokompresszió után a huzalt a következő termokompresszió által megkívánt irányban, az elektródákkal párhuzamosan állítjuk és a kivezetőre fektetjük egy a mozgást a fér három irányában redukáló mikromanipulátorral. A 3. ábra mutatja a termokompresszios éket a huzalra helyezés után, a láb élétől kis távolságra. A 4. ábra a nyírás kezdeti pillanatát mutatja. Az 5. ábra a nyírás utáni helyzetet ábrázolja. A huzal kívánt irányba állítása és a lábra való fektetése után a termokompresszios ék homlokfelületével az állványláb és a huzal találkozási pontja közelében a huzalra manipulálunk másik mikromanipulátor segítségével és itt az éket leeresztjük úgy, hogy az a huzalra támaszkodik. A huzal mentén az éket az állványláb élén túl toljuk. Ezen művelet során folyamatos termokompresszios kötés keletkezik a termokompresszios ék lehelyezési pontja és a kiválasztott él között. Az élt elérve az állványlábból és a termokompresszios ékből keletkezett „olló" a huzalt elnyírja. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás elektromos mikro technológiák szerelési műveleteinek tökéletesítésére huzalos kivezető elemmel rendelkező félvezető eszközök, vékonyréteg áramkörök és egyéb nagyfrekvenciás mikroáramkörök termokompresszios műveleteinél, melyeket olyan termokompresszios szerkezetekkel végzünk, melyeknél a termokompresszios ék egy hosszú karon csapágyazott, ahol a termakompressziós kötéshez szükséges erőt beállító súlyerő idézi elő, mely erő következtében a termokompresszios ék a termokompresszió folyamán a hosszú kar csapágya, mint forgástengely körül a termokompresszios hely 10 15 20 25 80 35 40 45 50 55 60 2
