158528. lajstromszámú szabadalom • Eljárás monolitikus félvezető eszközök előállítására

158528 Nemzetközi osztályozás: H 01 1 19/00 FIG 8 N+ 81 Nf 82 FIG. 9 FIG. 10 89 N P R 86 W 90 N P FIG. II