158528. lajstromszámú szabadalom • Eljárás monolitikus félvezető eszközök előállítására

9 158528 10 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás monolitikus félvezető eszköz előállítására, .melynél egy első vezetőtípusú (P) egykristály félvezető test felületének szomszédságában 5 második vezetőtípusú (N) eltemetett zónák (22, 23) alakzatát képezzük ki, a test felületén második vezetőtípusú vékony epitaxiális réteget alakítunk ki és az epitaxiális rétegben második vezetőtípusú mély kontaktzónákból álló alakzatot 10 képezünk ki, mely zónák mindegyike az eltemetett zónák legalább egy részével szemben helyezkedik el, azzal jellemezve, hogy az epitaxiális réteg (24) teljes felületébe első vezetőtípusú szennyezéseket diffundáltatva első vezetőtípusú 15 báziszónákat (51, 52) képezünk ki, melyek oldal irányú kiterjedését a mély kontaktzónák határolják, és második vezetőtípusú emitterzónát (61, 62) diffundáltatunk az epitaxiális rétegbe (24), a báziszónák (51, 52) legalább egyikének egy 20 részébe. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az epitaxiális rétegen (24) keresztül első vezetőtípusú szigetelő- 25 zónák (31) alakzatát diffundáltatjuk. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az epitaxiális réteget (24) egy mikron vastagságúra készítjük. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy az eltemetett zónák (22, 23) ellenállásához képest nagy ellenállású N-típusú vezető epitaxiális réteget készítünk. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a mély kontakt zónák (41, 42) legalább egyikével legalább egy ellenállás oldalirányú geometriáját határozzuk meg. 6. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a diffúziós lépéssel a szomszédos bázis zónák (85, 87) között második vezető típusú (N) tértöltés-hiányos zónát (93) állítunk elő az epitaxiális rétegben (24) és ezzel térvezérlésű szigetelést állítunk elő a bázis zónák között. 2 rajz, lil ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7107547. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 5