158142. lajstromszámú szabadalom • Másolókészülék, előnyösen félvezetőtárcsákra való másoláshoz

3 158142 4 A találmány alapja annak a feladatnak a. megoldása, hogy felépítésében egyszerű és biztos másollókészüléket létesítsünk, amely lehetővé teszi struktúrák közel hibamentes •átvitelét a sablonról a szilícium- vagy germáiniumitárcsára, anélkül, hogy a tárcsák sík jelege tekintetében túl nagy követélményeket támasztanánk. A találmány szerint ezt a feladatot azáltal oldjuk meg, hogy a sablon és a tárcsatartó közötti térben depressziót, ill. vákuumot létesítünk, úgyhogy a sablont és a tárcsát egy önmagában véve. ismert függőlegesein mozgatható nyomófej, ill. bélyegzőn át a külső levegőnyomás segítségével egymáshoz préseljük. Ebből a célból a sablon és a hatásos nyomófej felület közötti teret tömítjük. A nyomófej tömítése a sablontartó félvevőhöz képest emellett úgy van kialakítva, hogy a nyomófej eltolása x-, y-, és ^-irányban lehetséges. A nyomófelület függőleg es , vetülete, amely ellen a külső leveganyoimás hat, úgy van kivitelezve, hogy az erő, amely a nyomófejen át a sablonra hat és a sablonra neher zedő légnyomás által előállított erő kompenzálják egymást. A találmány szerinti megoldással a sablonnak az áthajlását a tárcsa relnyomásakor elkerüljük. Ezért a rápréselési erőt mintegy az ötszörösére fokozhatjuk. Ezáltal lényegesen jobb érintkezést létesítünk a tárcsa és a sablon között, mindenekelőtt akkor, ha tárcsák nem elegendően síkak és pl. vetemedéseket tartalmaznak. A tárcsának a kiegyenesítése, üli. beszabályozása a sablonnal párhuzamosan lényegesen jobb a nagyobb rányomóerő és aizon tény folytán, hogy a tárcsa kiegyenesítés céljából valló rányoinásmál a beigazítás, ill. pozicionálás előtt, ez mindenekelőtt szellőzött tárcsabeszíváisnál következik be, a depresszió, ill. vákuum előállításánál mindenekelőtt a tárcsa a gömböistányérról a tárcsa hátoldalira ható külső levegőnyomás folytán a sablonra fekszik rá, még mielőtt a lomhább nyomófej követné. Továbbá hozzájárul ahhoz, hogy a gömbösitányér a beszabályozás alatt a serpenyőben, ill. csapágyazásában légpárnán mozogjon, ami által a beszabályozás ugyancsak meg van könnyítve. Minthogy a nyomófejet a pozicionáló helyzetben nem kel a rányomó erő ellen reteszelni, nem keletkezik eltolódás a rányomásnál. A sabloineseire is lényegesen egyszerűsödik. A sablon a kereten vákuum útján tartható, minthogy ennek a tartásnak nem kell már ellenerőt a rányomóerővel szemben kifejtenie. Megfelelően sík sablonfelfekvésnél a sablon elgörbülése elkerülhető, minthogy a befeszítés elesik. A rászorító erő a depresszió, ill. vákuum vezérlése útjain 0 és 25 kp között folyamatosan könnyen szabályozható. Ez a legkedvezőbb interf erenciaviomailá'bria szerint minden tárcsához egyénileg beállítható. , A találmányt a következőkben egy kiviteli példa alapján közelebbről megmagyarázzuk. A rajz ,a készülék oldalnézetét metszetben, azaz hosszmetszetéit mutatja, részben eltörve. Az 1 tárcsa a felhelyezés után 2 gömböstányéron van rajta, csekély távolságra a 3 sablontól, amely 14 szívó vezetéken át. létesített vákuum útján 4 sablomtartón van megerősítve. A függő-5 legesen elmozgatható 5 nyomófej 6 gumitömítés útján 7 safolontartó-felfekvéssél szemben .tömítve van, úgyhogy egy elővákuum-záró 8 közbensőtér keletkezik. A 17 szívóvezeték arra való, hogy a 4 sablontartót a 7 sablonitartó-felfekvésen 10 rögzítetten tartsa. A közbenső 8 térinek a 9 csatornán át. való evakuálása folytán elérjük, hogy az 1 tárcsa és a 3 sablon a külső légnyomás segítségévél, amely úgy a 3 sablori felső felületére, mint a 18 nyíláson át az 5 nyomófej alsó 15 felületére és a 19 nyomófej vezetékben elrendezett 20 áttöréseken át a 6 gumitömítésre hat, egymásra préselődnek. Bogy a pozicionáló és az. ehhez csatlakozó másolófolyamathoz szükséges planparallelitást (síkpárhuzamossáigot) az 1 tár-20 csa és a 3 sablon között előállítsuk, az 1 tárcsa és a 3 sablon levegőzött, azaz szellőzött 10 szívóvezetékiné! egymásra nyomódik. Ezért ennél a fdlyaimattnál az 1 tárcsa hátoldalán és a gömböstányér 13 serpenyőjén ugyancsak a külső lég-25 nyomás hatásos, úgyhogy először az 1 tárcsa a 3 sablonra ráhelyeződik, mielőtt a lomhább 5 nyomófej utánamyomul, amelynek ezenfelül még a 11 visszaállító-rugó erejét is le kell győznie. A gömbös 2 tányér ennél egy légpárnán mozog, 30 minthogy azt ugyancsak a külső légnyomás felemeli. Ezután az 1 tárcsát és a gömbös 2 tányért a 10 szívó vezetéken át megszívatjuk és a 8 közbenső teret szellőztetjük. A 11 visszaállító-rugó az 5 nyomófejet pozicionáló' helyzetbe hozza. A 35 pozicionáló távolság az 1 tárcsa és a .3 sablon között a 16 magasság élállítóval beállítható. Elvégzett pozicionálás után az 1 tárcsát és a 3 sablont ismét a 8 közbenső térnek a 9 csatornán át való evakuálásával egymáshoz préseljük. A be-40 következett egymásra nyomás után az 1 tárcsa és a 3 sablon közötti érintkezés a táircsabeszívás szellőztetése útján a 10 szívóvezetéken át még tovább javítható, minthogy az 1 tarosa hátoldalára ható légnyomás a tárcsa egyenlőtlenségeket 45 még jobban kiegyenlíti. Az 1 tárcsa ekkor légpárnán fekszik -rajta,, amely nyomólevegővel is előállítható. A nyomás nagyságának emellett egy meghatározott p = y értéket nem szabad felülmúlnia. Ebben K jelenti a ránehezedő nyomó-50 erőt és F jelenti a tárcsafelületet. A másolófolyaimat befejezése után a 8 közbenső teret és a 17 szívóvezetéket szellőztetjük, úgyhogy a 4 sablontartó a rajzon nem ábrázolt forgáspont körül felosappan és az 1 tárcsa, amely előbb újból 55 meg volt szívatva, a 10 szívóvezeték szellőztetése után levehető. Egy a rajzon közelebbről nem ábrázolt pozicionáló asztal, amely az 5 nyomófejet tartja, és egy 15 keresztasztalból (mozgatható tárgyasztal) — ráhelyezett 12 forgóberendezés-60 sei — áll, célszerűen úgy van kialakítva, hogy a 6 gumiitömítést a pozicionáló mozgásoknak megfelelően, amelyeket az 5 nyomófejire átviszünk, utána vezetjük, nehogy nem ellenőrizhető haránterőket vigyen át a 6 gumitömítés az 5 nyomó-65 fejre. 2