158127. lajstromszámú szabadalom • Szilicium alapú nemlineáris félvezető ellenállás

15® 127 tónek legalább egy részén 5—400 angstrom vas' tagságú szilíeiumoxid réteg van,, és a két fémkontaktus a szilíciumoxid réteghez van csatlakoztatva. A varisztorokra jellemző inévleges feszültség nagysága a találmány szerinti nemlineáris félvezető ellenállásnál az oxidréteg vastagságától függ; vastagabb oxidréteghez nagyobb névleges feszültség tartozik. Az áramfeszültség karakterisztika induló nagy ellenállású szakaszának meredekségéti azaz a kezdeti ellenállás értékét a fémkontaktus az oxidréteggel érintkező felületének nagysága is befolyásolja. Szimmetrikus karakterisztikájú ellenállást akkor nyerünk, ha mindkét fémkontaktus alatti oxidréteg egyenlő vastagságú és a fémkontaktusak oxidréteggel, érintkező felületei is egyenlők. Egyes esetekben célszerű lehet olyan nemlineáris ellenállást alkalmazni, amelynek pozitív irányú névleges feszültsége nem egyenlő a negatív irányú névleges feszültségével. A találmány szerinti nemlineáris ellenállás ilyen tulajdonságot mutat, ha az egyik fémkontaktus alatti oxidréteg vastagsága nem egyenlő a másik fémkontaktus alatti oxidréteg vastagságával. A találmány szerinti nemlineáris félvezető ellenállás oxidrétege szándékosan néni szennyezett, szokásos szilíciumoxidréteg. Előállítható termikus vagy vegyi oxidáció útján is. Vékonyabb oxidrétegnél a vegyi előállítás előnyösebb. _ A fémkontaktusok anyaga igen sókféle lehet, a szokásos kontaktusanyagok mellett, pl. arany, alumínium, előnyösen alkalmazható a réz is. A találmány szerinti nemlineáris félvezető ellenállás egy előnyös kiviteli alakját a következőképp állítottuk elő. 0,03 ohm.cm fajlagos ellenállású, n típusú szilícium egy kristályból kivágott 1X1X5 mm: méretű hasábot benzinben és alkoholban főzve megtisztítottunk, majd 100 ml, 2 csepp 20%-os -nátronlúgot tartalmazó 5'%-os vizes hidrogénperoxiddal 10 percig főztük, végül a hasábot forró desztillált vízzel leöblítettük. Ezután a hasábnak élőbb az egyik, majd a másik végét rézbevonattal láttuk el oly módon. 10 15 20 25 30 35 hogy cianidos rézfürdőbe kb. 1 mm mélyen bemártva ós kátédnak kapcsolva 10 mA/mm2 áramsűrűséggel kb. 5 percig •galvanizáltuk. Végül desztilláHt vízzel leöblítettük, megszárítottuk, és a rézkontaktusokra ónozás után kivezetéseket forrasztottunk. Az így készült nemlineáris ellenállás oxidrétegónek vastagsága kb. 20 angstrom, névleges feszültsége 6 volt, legnagyobb árarmerőssége 100 mA, nemlmearitása: a=2—6. Karakterisztikája szimmetrikus és hiszterézis nélküli. A találmány szerinti szilícium alapú nemlineáris félvezető ellenállás előnye nagy élettartama, valamint egyszerű előállíthatósága. Nehézség nélkül kialakítható a szokásos integrált áramkörökben is. Szabadalmi igénypontok: 1. Szilícium alapú •nemlineáris félvezető ellenállás szilíciumtesttel, két fémkantaktussal és a fémkontaktusokhoz csatlakoztatott kivezetésekkel, azzal jellemezve, hogy szilíciumteste 0,2 ohm.cm-nél, előnyösen 0,05 ohm.cm-nél kisebb fajlagos ellenállású n típusú szilícium és felületének legalább egy részén 5—400 angstrom vastagságú szilíciumoxid réteg van, a két fémkontaktus pedig a szilíciumoxid réteghez van csatlakoztatva. 2. Az 1. igénypont szerinti ellenállás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a két fémkontaktus különböző vastagságú szilíciumoxid réteghez van csatlakoztatva. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti ellenállás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a két fémkoinfcaktusnak a szilíciumoxid réteggel érintke-40 ző felülete egyenlő nagyságú. -4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti ellenállás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a két fémkontaktus rézből vagy alumíniumból 45 van. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója, 7107228. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23.