157868. lajstromszámú szabadalom • Mikrominiatürizált integrált áramkörben kialakított félvezető szerkezet és eljárás annak előállítására

7 157868 8 és félvezető anyagot választunk ki, amelyet síkká dolgozunk, és a félvezető test szemben levő oldalát vékony, nem-vezető rétegig síkban levékonyítjuk, majd ezt követően a szennyezettség mértékét változtatjuk, és ezután nem-vezető védőréteget alakítunk ki a diffúziós és kontakt nyílásokban — előnyösen egyidejűleg e célra alkalmazott diffúziós eljárással. 4. A 2. vagy 3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosításának módja, azzal jellemezve, hogy szilícium félvezető szubsztratumból indulunk ki. 5. A 2—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy nem-vezető rétegként szilícium vegyületekből alkotott védőrétegeket képezünk ki. 4 raj-z, 12 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7008539. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 4