157643. lajstromszámú szabadalom • Berendezés félvezetőelemekre felgőzölt rétegnek rákapcsolására a félvetőelemek elektromos értékeinek mérésére való készülékre

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1967. VI. 19. {EE—1414) Német Demokratikus Köztársaság-béli elsőbbsége: 1966. X. 14. Közzététel napja: 1969. XI. 22. Megjelent: 1970. XII. 31. 157643 Nemzetközi osztályozás: ' G 01 r 3/00 •4/ Feltalálók: Graupner Helmut konstruktőr, Hermann Fred oki. mérnök, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEíB Elektromat, Dresden, Német Demokratikus Köztársaság Berendezés félvezetőelemekre felgőzölt rétegnek rákapcsolására a félvezetőelemek elektromos értékeinek mérésére való készülékre A találmány berendezésre vonatkozik félvezető elemekre f elgőzölt • szélsőségesen (extrémen) kicsi és vékony rétegek rákapcsolására e félvezető elérnek elektromos értékeinek mérésére való készülékre. Ismeretesek már oly készülékek, amelyeiket félvezetőelemlak rétegei elektromos értékeinek a vizsigálaitáina használnak. Ezek a készülékek egy rögzített részből állanak kilendíthetően elrendezett és mérőcsúccsal ellátott mérőfcarral és egy beállító berendezéssel, amely egy a mérőcsúcs felfekvő nyomásét a miérőtárgyra befolyásoló, a mérőfcairlhoz képest elállítható lemiezrugóíból van kialakítva. A mérőcsúcs felfekvő nyomása a mérendő rétegre kíb. 1—10 p. E viszonylag nlagy felfekvő nyomásinak megfelelően a mérőcsúesokat erősre kell kialakítani, mert különiben azok elhajlásának veszélye áll fenn. Hátrányos, hogy az erős mérőcsúcsok náhélyeziésenél a nlagy felfekvő nyomássial kapcsolatiban, a vizsgálandó szélsőségesen (extrémen) vékony réteg szétramibolódik. Ismeretesek továbbá oly készülékek, amelyéknél a mérőcsúcsot állítócsavarokfcíal helyezik a vizsgálandó tárgyra. Mikroszkóppal figyelik a mérőcsúcs ráhelyezését. Definiált felfekvő nyomás ezeknél a kiészüliékéknél nem állítható be, úgyhogy kifogástalan vizsgálati 10 15 eredmény nem érhető el. Ezeket a készülékeket többnyire laboratóriumokban használják. Félvezető szerkezeti elemekre felgőzölt szélsőségesen (extrémen) kicsi rétegnek egy mérőkészülékre való rákapcsolásaira, a folyamatos készítés alatt, ezek a készülékek nem használhatók. Fennállott tehát a feladat, hogy oly berendezést létesítsünk, amelynek segítségével félvezető elemekre felgőzölt szélsőségesen (extrémen) kicsi réteg rákapcsolása előbb nevezeit fajtájú készülékre, e félvezető elemek elektromos értékeinek mérésére lehetséges anélkül, hogy a rétegét megsértenénk. A találmány szerint ezt a feladatot azáltal oldjuk meg, hagy a mérőfcar csúcsokra ágyazott hídként van kialakítva, amelynek egyik vége egy mérőhegyet tart és amelynek másik 20 végén kiegyenlítő súlyok vannak elrendezve, és hogy az állítófoerendezés a hídként kialakított mérőikar és a lemezrugó között egy pengeágyazású mindkét elemmel kapcsolatban levő kengyelt tartalmaz. A híd ágyazására való csú-25 csak függőlegesen vannak elrendezve. A híd jobb kiegyensúlyozásiára a kiegyenlítő súlyok menetes orsón állíflhatóan vannak elrendezve. A híd fölösleges lengéseinak elkerülésére ;~zon nyelv van elrendezve, amely csillapító folya-30 dékkal telt tamtánylba merül be. A találmány 157643