156960. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyag vezető fémes bevonására

156960 III. Nikkel lerakás. t A. —• Bemerítés galvanizálás-mentes nikkel bevonó oldatba. B. — Nikkel felület színterelése. 5 C. — Maratás HF oldatban. -D. — Bemerítés galvanizálás-mentes nikkel bevonó oldatba, IV. Végső kezelés. 10 A. — Bevonás arannyal. B. — A szelet tárcsákra darabolása. C. — A tárcsák házra szerelése. D. — Kivezetések rögzítése. 15 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás szilícium félvezető test dopolt felü- 2

0 leti zónáinak bevonására vezető fémmel, előnyösen nikkellel, galvanizálás-mentes bevonási módszerrel, amely eljárásban az említett dopolt felületi zónákat az egyik felületrészbe foszfornak, egy másik felületrészbe pedig egy másik a vezetést meghatározó szennyező anyagnak főleg bornak termikus diffundáltatásával alakítjuk ki és így a bevonandó felületi zónákat a diffundáltatás folyamata alatt a szennyező félvezető szilíciumötvözet üviegszerű (felületi rétegével szennyezzük és a dopolt felületi zónát tisztítjuk azáltal, hogy a testet fluor-hidrogénsav oldatba mártjuk és ezzel az üvegszerű réteget eltávolítjuk, majd pedig a tisztított felületi zónákat vízzel mossuk, azzal jellemezve, hogy a foszforral dopolt és tisztított felületi zónákat 80—90 C°-ú és 8—10 pH-jú ammóniumhidroxid vizes oldatába mártva aktiváljuk, majd szárítás után a szennyező-oxidok eltávolításáig bemártjuk fluorhidrogénsav oldatba. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a megtisztított szilíciumtestet 3—7 percre mártjuk be az említett ammóniumhidroxid oldatba és szárítás után a szilícium-testet 2—4 percre mártjuk a fluor-hidrogénsav oldatba. A. kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7007446.. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 4