156927. lajstromszámú szabadalom • Ionizációs vákuummérő szélsőségesen kis nyomások mérésére

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1967. V. 17. (PO—395) Lengyelországi elsőbbsége: 1966. V. 17. (P. 114 624) Közzététel napja: 1969. VI. 28. Megjelent: 1970. XI. 10. 156927 Nemzetközi osztályozás: G 01 1 Feltaláló: Dr. Groszkowski Jarausz professzor, Warszawa, Lengyelország Tulajdonos: Politechnika Warszawska, Warszawa, Lengyelország Ionizációs vákuummoiérő szélsőségesen kis nyomások mérésére A találmány tárgya ionizációs vákuummérő, amely mágneses tér nélkül működik és olyan igen kis nyomások mérésére alkalmas, amelyek nyomástartományában az ionáram, amely a nyomás tulajdonképpeni mértéke, csak nehe- 5 zen választható el azoktól a zavaró áramoktól, amelyek az ionárammal együtt az ionkollektorra áramlanak. A mérést főképpen zavaró áramok egyike az az áram, amelyet az elektron-emisszió idéz.elő, 10 amely emisszió a . kollektoron keletkezik az elektromágneses sugárzás következtében, amely a kollektorra jut. Ez a sugárzás mindenekelőtt az anódról származó röntgensugárzás, valamint a izzókatód ultraibolya fénye. 15 Hogy ezen káros behatásokat minimumra csökkentsék, a következő rendszabályokat alkalmazzák : a) kisméretű kollektort használnak, • 20 b) a kollektor által emittált elektronok villamos gátlása; c) a kollektor geometriai leárnyékolása a káros sugárzásokkal szemben; d) a kollektor megfelelő távolsága a sugár- 25 forrástól; e) az ionáram modulálása. Az eddigi ionizációs vákuummérő konstrukciók különböző hiányosságokat mutatnak, mint például: zo — minimális érzékenységük van; — bonyolult az elektród-elrendezésük és ezáltal ezek jósága és könnyű gáztalanítása megnehezedik ; — bonyolult a mérés stb. A találmány szerinti vákuummérőnél mindenek előtt a kollektor megfelelő távolságra van a sugárforrástól. Ezenkívül a kollektor kisebb és ráadásul még részben vagy teljesen árnyékolt is. A kollektor olyan tartományban van elhelyezve, amelyhez még akkor is, ha a kollektor esetleg nem lenne árnyékolva, a röntgensugárzásnak csak korlátozott része juthat, míg a katódról eredő fény egyáltalán nem érheti. Ezzel szemben az ionáramot, amely a nyomás tulajdonképpeni mértékét képezi, semmi sem gátolja. Hogy a vákuummérő érzékenységét még növeljük, az ionkollektort burkolattal vesszük körül, amely á kollektorra vezetett ionok szóródását megakadályozza, az ionokat az ionizációs zónán belül tartja és a kollektort a villamos zavarokkal szemben védi. A találmány szerinti vákuummérő egy példakénti kiviteli alakját rajz alapján ismertetjük. Az 1. ábra a vákuummérő mérőcsővét ábrázolja hosszmetszetben. 156927