156592. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető alkatrészek felületkezelésére
3 156592 4 pedig 890—920° — aPésB tartalomtól függően,. néhányszáz fokkal kisebb (kb 250—550°-ál), ugyanakkor hideg keménysége jóval nagyobb (kb 500 Vickers). Előkezeléssel 400—700 C° között a réteg tapadása és a hideg keménysége növelhető, a yilllamos ellenállás egyidejű kisebb csökkenése mellett. A bevonat jobb esztétikai hatását és egyúttal nagyobb korrózióvédelmet is biztosíthatjuk, a bevonatnak — redukáló és/vagy semleges atmoszférában — az ötvözet olvadáspontjáig (900—1200°) történő hevítésével. Ily módon — mint ismeretes — a réteg pórus száma is csökken és fényvisszaverő képessége egyúttal megnövekszik. Találmányunkat részletesebben a következő kiviteli példával kívánjuk leírni. Tranzisztor alaplemezéket és sapkákat zsírtalanítunk szerves oldószerrel pl. CCU-el. Utána a zsírtalanított testeket kb 1000 C°-on hidrogénáramban izzítjuk. Ez az előkezelés igen jó felületi minőséget biztosít a Ni-P, vagy Ni-B réteg számára. Ezután lemezekre és sapkákra kémiai redukcióval kb 8% P tartalmú Ni réteget választunk le. Utána ioncserélt vízzel mosunk és szárítunk kb 80 C°-on. Amennyiben az alkatrészek előzetes izzítása nem célszerű, kémiai előpolírozást, vagy utólagos hőkezelést (400—500 C°-on!) végezhetünk a tapadó képesség növelésére. A felületén ilymódon bevont testeket ezután összeszerelő gépekbe adagoljuk, mely gépsor utolsó eleme az impulzushegesztő, ami az összeszerelt alaplemezrészt és sapkát összehegesztve légmentesen lezárja. Más kivitelezésben a leírt módon járunk el, de a felület bevonására használt ötvözet 6—7% B tartalmú nikkel ötvözet. Ismét más kivitelezési módbán úgy járunk el, hogy az összehegesztés előtt a félvezető eszköznek ez esetben célszerűbben Ni-P ötvözettel bevont alaplemezét és sapkáját kb. lO00°-on H2 atmoszférában néhány percig izzíttjuk. Ekkor — lehűlés után — fényes bevonatot kapunk, aminek természetesen esztétikus hatása kedvezőbb. Az ötvözetek kémiai redukciós előállítását nem részletezzük, mivel ezek eléggé közismertek. Ugyanilyen hatású ötvözeteket kaphatunk akkor is, ha nikkel ötvözet helyett kobalt vagy 10 15 20 25 30 35 40 Sfr nikkel-kobalt Ötvözetet (P-vel, ill. B-vel) redukálunk a felületekre, de ez természetesen drágább. Részletezés helyett utalunk az irodalomra, (Dett-, ner-Elze: Handbuch der/ Galvanotechnik Bd. 1/2 731. old.). Találmányunk szerint eljárva a félvezetők (impulzus) hegesztéses lezárása meglepő jó eredményt mutat.; Ugyanis a szokásos eljárásoknál mutatkozó szétfeccsenés elmaradt, ennek következtében a lyukas, tehát a nem tömítésből eredő selejt igen nagymértékben csökken. A hegesztési varrat sima, tetszetős külsejű. Végül két oly előnyre is rámutatni kívánunk, melyek — légjobb tudomá^sunk szerint — az irodalomban teljesen ismeretlenek. Nevezetesen, a réz alkatrészekre alkalmazva az említett bevonatokat, ezek impulzushegesztése is sikerül. . Másik előnye eljárásunknak az ún. whiskerképződés teljes elmaradása. A félvezető eszközök felületkezelésében az utóbbi években egyre inkább elterjed a fényes ónbevonat alkalmazása. Efféle felületeken viszont'— a tárgy beépítése után — igen gyakran több m/m hosszú és néhány mikron vastag óntűk alakulnak ki. Ezeket a tűket hívják whiskernek. Természetesen a whisker-képződés egyáltalán nem kívánatos az esetleges rövidzárlat előidézése miatt. Legnagyobb meglepetésünkre, az általunk használt ötvözettel bevont félvezető alkatrészek fényes ónozása után a whisker képződés teljesen elmaradt, ami ismét selejt csökkenést jelent gazdasági vonatkozásban. összefoglalva félvezető alkatrészek igen jó minőségű és előre nem látható jó következményű kifogástalan hegesztést is lehetővé tevő bevonását dolgoztuk ki a nevezett P és B tartalmú ötvözetekkel. Szabadalmi igénypont: Eljárás félvezető alkatrészek (pl. sapka, alaplemez, kivezető stb.) felületi előkezelésére impul^ zus hegesztésre azzal jellemezve, hogy az összekötendő felületek legalább egyikére a hegesztés előtt 1—19% P ill, 1—10% B tartalmú Ni és/vagy Co ötvözetet viszünk fel. <& kiaögsért tele]: ja j&öagaadasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7007068. Zrínyi ,(T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. o
