156555. lajstromszámú szabadalom • Eljárás Ge és Si epitaxiális egykristály zártrendszerű, szakaszos leválasztására
156555 Szabadalmi osztály: 40 d 3/00 Nemzetközi osztály: C 22 f 3/lO0 Decimái osztályozás: 669.2/.8—172 O» Na
/
