156555. lajstromszámú szabadalom • Eljárás Ge és Si epitaxiális egykristály zártrendszerű, szakaszos leválasztására

156555 Szabadailmi osztály: 40 d 3/00 Nemzetközi osztály: C 22 f 3/00 Decimái osztályozás: 669.2/8—172 0000000006000 [ 0 e 1 f'ffí'fl"ftt, 00000000000oo 9 1 8 Zabra.