156371. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök felületi áramainak csökkentésére és a felületnek a környezettől való elszigetelésére

3 dószerek zömének gőzei ellen pedig egyáltalán nem védnek. Sok. lákkiféleség jazért nem használható, mert nem tapad kellően a félvezetőfelülethez. Nagy értékű félvezető eszközöknél gyakran előfordul, hogy pl. a lakkréteg mechanikai 5 sérülése miatt, vagy más okból az elektromos paraméterek váratlanul leromlanak, ilyenkor a lakkréteg eltávolítása (és újbóli felületkezelés) válik szükségessé. A használatos lakkféleségeknél ez oldószeresen, elég nehézkesen végezhető, 10 A jelen találmányi bejelentés tárgyát képező eljárás amellett, hogy a fenti problémákat megnyugtatóan megoldja, azzal az élőnnyel is rendelkezik, hogy a iféivezetőfélületre előnyösen hatván a félvezetőeszközök áramjfeszültség ka- 15 rakterisztikáját kedvezően befolyásolja, a felületi komponenst csökkenti. Különösen a magasabb feszültségek mellett mért záróirányú áramok csökkennek jelentősen, a felület letörése magasabb feszültségek felé tolódik. Az eljárás lénye- 20 ge az, hogy a félvezető felületre, vagy annak kényes részeire hézagmentes és buborékmentes polüzobutilén réteget hozzunk létre. Felhasználhatunk viszonylag alacsony molekulasúlyú (Ms= =1000—50 000), olajszerű viszkózus folyadékot, 25 illetve mézszerű ragadós masszát. Ezek közvetlenül a felületre kenhetőek, vagy cseppenthetőek. Olyan esetben, ha a technológiai sorban a felületbeállítást, illetve felületstabilizálást közvetlenül a tokozás (toklezárás) követi, alkalmaz- 30 ható az eljárás oly módon is, hogy a tokot részben, vagy egészben poliizotbutilénnel töltjük, és tulajdonképpen ebbe van belemerítve maga a félvezető. Az ilyen alacsonyabb molekulasúlyú polüzobutilén töltőanyaggal is ellátható, 35 és amennyiben a töltőanyag inaktív (elektromosan és kémiailag), vagy aktív, de kedvező értelemben (pl. nedvszívó molekulaszűrő), az eljárás ugyanígy alkalmazható. 40 Magasabb molekulasúlyú (Ms>50 000) polüzobutilén oldószeres oldatából történő beszárítás révén vihető fel a felületre. Oldószerként benzin, benzol, toluol, xilol, ciklohexán használható fel. Legcélszerűbb valamely apoláros benzin- 45 komponenst (vagy azok keverékét) oldószerként alkalmazni, mert ebben az esetben az elektromos paraméterek az oldatfélvitel után azonnal is ellenőrizhetők. Az oldat koncentrációja a kívánt rétegvastagság elérése érdekében tetszés 50 szerint beállítható, célszerű azonban az oldat viszkozitását a kenhetőség szempontjaiból alapul venni, szükség esetén többszörös réteget felvinni. Az oldószer megválasztását is ugyanezen szempontok diktálják, figyelembe kell venni, 55 hogy azonos koncentrációjú benzoics oldat pl. sokkal nagyobb viszkozitású, mint a benzines, és így sokkal vékonyabb réteget biztosít az azonos viszkozitású (tehát a jól kenhetőség szem-A kiadásért íelel: a Közgazdasági 6908879. Zrínyi (T) Nyomda, Budap< 4 pontjából megválasztott) benzoics oldat. A poliizobutilén oldatókból is készülhetnek szuszpenziók (pl. molekulárszűrővel), de oldásra kerülhet töltőanyagtartalmú polüzobutilén is, amelybe a. töltőanyagot a gumiiparban szokásos módszerekkel lehet bevinni. A polietilén töltőanyag például növeli az anyag mechanikai szilárdságát, de rontja tapadását, a paraffin adalék a vízgőz permeációs koefficiensét csökkenti a tapadóképesség rovására. Harmadik változatként eljárhatunk úgy is, hogy poliizobutilénből készült fóliát (abból kivágott megfelelő alakú darabként) nyomunk zárványmentesen a felületre. Igen előnyös lehet az ismertetett eljárásváltozatok kombinációja, például: apdláros oldószeriben oldott közepes (Ms = ÍOO 000) molekulasúlyú poüizöbutilént (legfeljebb molekulárszűrővel töltve) kenünk a félvezetőfelületre, majd száradás után polietilén vagy teflonfóliára szíintén oldatból öntéssel és beszárítással felvitt panaffintartalmú poliizobutiién „szendvicsfoliat" tapasztunk. A többszörös rétegeket megválaszthatjuk úgy is, hogy a legbelső réteg az elektramos paraméterek biztosítását lássa el, míg a külsők a páratartalomtól függetlenítést biztosítják (pl. koromtartalmú polüzobutilén, amelynek a legkisebb a permeációs koefficiense vízgőzre). A fentiek szerint kezelt félvezető eszközök a po'liizobutilénnek, illetve oldatának a félvezetőfelületre tett kedvező hatása, kiváló elektromos tulajdonságai 'és kémiai ellenállóképessége, valamint jó tapadása folytán előnyösebb áramfeszültség karakterisztikával rendelkeznek (alacsony atob a felületi komponens), és elektromos paramétereik a környező atmoszféra páratartalmától gyakorlatilag függetlenek. A felület szenynyeződésének veszélye nem áll fenn, savak, lúgok és sok szerves oldószer (pl. alkohol, aceton) gőzeire az eszköz nem érzékeny. A fentiek szerint felvitt védőréteg szükség esetén könnyen eltávolítható oldószermentesen is, pl. egy poliizobutilén darabkával történő dörzsöléssel (,,radírozással"). A védőréteg felületi tapadása a réteg külső oldalán gyakran előnytelen, de ez megszűntethető a felület telítésével, pl. molekulárszűrő porával történő befúvatás révén. Szabadalmi igénypont: Eljárás félvezető eszközök felületi ánamkomponenseme,k csökkentésére és az eszközök paramétereinek a környezet szennyező- és vegyi hatásaitól való függetlenítésére, azzal jellemezve, hogy az eszköz felületének egészét vagy részét folyékony és/vagy szilárd és/vagy massza halmazállapotú, és/vagy oldott polüzobutilénnel vonjuk be. és Jogi Könyvkiadó igazgatója, t V., Balassi Báiint utca 21—23. 2