156061. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés villamosan vezető anyagok felületén levő villamosan nem vezető réteg, vagy villamosan nem vezető anyagok felületén levő villamosan vezető réteg vastagságának mérésére
3 A mérőórák az említetteken kívül legfeljebb csak 15—30% mérési pontossággal használhatók sok hibalehetőséggel. A találmány szerinti megoldás ezeket a hátrányokat kiküszöböli. A találmány alapját az a felismerés képezi, 5 hogy igen nagy pontosságú rétegvashagságmérés valósítható meg oly módon, hogy a mérendő rétegre egy szúróeszközt helyezünk, ezt a helyzetet egy indikátorórával indikáljuk, ezután a réteget átszúrjuk, az átszúrás tényét io elektromos áramkörben érzékeljük és a szúróeszköz állapotát az átszúrás beálltakor az említett indikáitoTÓrán leolvassuk. A találmány szerinti megoldás az eddig ismert megoldásokkal szemben lényegesen na- 15 gyobb pontosságot biztosít, alkalmazható mágnesezhető, elektromosan, vezető és nem vezető anyagok esetében is. További előnye találmányunknak az, hogy elektromos és mágneses erőtérben a mérési 20 pontosságot megtartja, és a berendezés nem hibásodik meg még igen nagy elektromos vagy mágneses erőtérben sem. Előnye a találmányunknak továbbá az, hogy széles határok között használható azonos pon- 25 tossággal, előre beállított rétegvastagság ellenőrzésiére is alkalmas, ezenkívül szalagrendszerű termelési folyamatokban automatikus ellenőrzésre is használható. A találmány egy példaképpeni kiviteli alak- 30 ját az alábbiakban a rajzzal összhangban, ismertetjük. A találmány eljárás mágnesezhető vagy nem mágnesezhető, de elektromosságot vezető szerkezeti anyagok (pl. Al, Cu, Zn, horganyzott acél S 5 stb.) felületére felhordott festékfilm műgyantaréteg, vagy bármely elektromosságot nem vezető anyagból képzett bevonat ill. elektromosságot vezető fémes anyagok felületén keletkezett, vagy mesterségesen kialakított elektromosságot 40 nem-vezető oxid vagy reveréteg (pl. rozsda-, reve-, eloxált-, foszfatizált- stb. réteg) ill. elektromosságot nem-vezető szerkezeti anyagok (plüveg, kerámia, műanyag stb.) felületén kialakított elektromosságot vezető fémes bevonatok 45 (pl. üveglap felületén kialakított ezüst vagy alumíniumtükör) vastagságának mérésére, melynek lényege az, hogy a réteg alatti alappal áramkört építünk ki, egy szúróeszközzel a réteget érintjük, egy indikátorórát Ü-ra állítunk, az 50 orsós emelőt rögzítjük, a réteget teljesen átszúrjuk, amikor az elektromos jelző jelez az áramkör záródása miatt, ill. amikor az elektromos jelzés megszűnik az áraimkör megszakadása miatt, az átszúrást befejezzük és a szúrás 55 mélységét, azaz a réteg vastagságát az indíkátorórán leolvassuk. A találmány továbbá rétegvastagságmérő berendezés, melynek lényege az, hogy 0,5p, és 1'04/J, határértékű méréstartománya van 0,5,u± 60 ±0,3/* méréspontossággal; mérésenként ellenőrizhető, ill. változtatható 0 kezdőponttal van kialakítva; a réteg teljes átfúrását, azaz a teljes rétegvastagság értékét jelző elektromos jelzőrendszerrel rendelkezik; méréstartomány szű- 65 4 kítést ill. bővítést biztosító csavarral van ellátva; előre bállított, állandó rétegvastagság érték, ellenőrzést megvalósító rögzítő csavarja van; a réteg átfúrására szúróeszköz pl. spirálfúró vagy tű szolgál, mely vagy fém vagy a csúcs kivételével a réteggel érintkező részen nem-fémmel bevont fém; a fúró ül. tű befogására, cserélésére, rögzítésére, a fúrás ill. lyukasztás végzésére befogó fej áll rendelkezésre, a fúrót, ill. tűt a réteg külső felületéhez vivő, majd érintő, valamint a méréstartomány szűkítést ül. bővítést eredményező csavarorsó szerkezettel van kialakítva; az alapnak a mérendő réteg felületére illeszkedő része elektromosságot nem-vezető anyagból van, alakja síkidom. A műszer az 1 ház 2 alapsíkjávai illeszkedik a mérendő rétegre. A 13 elektromos jelző áramköre a 9 fúrón, 8 befogó fejen, 7 tengelyen, 5 mérőórán, 3 orsós emelőn, 4 csavarkeréken, 10 biztosító csavaron, 1 házon, 13 elektromos jelzőn és a benne elhelyezkedő áramforráson keresztül a 14 elektromos vezeték. 1!5 érintkezőjének a réteg alatti alappal ill. réteggel való szoros érintkezése útján épül ki. A 9 fúró behelyezése és a 11-el való rögzítése után a 4 csavarkerék forgatására a 3 orsós emelőnek addig kell sülylyednie, míg a 9 fúró helye a réteg külső felületét el nem éri és míg a 7 tengely a kialakult, s a mérésnek megfelelő mérési tartomány felső határállásába nem jut. — A 7 tengely ebből a felső határállásból süllyed lefelé a réteg teljes átfúrásakor. — Miután a 9 fúró hegye a réteget érinti, melyet a mutató megmozdulása jelez, a 4 csavar kerék és a 3 orsós emelő állapotát a 10 biztosító csavarral kell rögzíteni. A „0" pont beállítása a 6 számlap „0" kezdőpontjának, az 5 mérőóra jelölt fixpontjához való húzásával történik, A 8 befogó fej forgatására a 9 fúró átfúrja a réteget, miközben a 9 fúró a 7 tengelyt lefelé húzza. A réteg teljes átfúrásakor az áramkör záródik, ill. megszakad, a 13 elektromos jelző jelez, ill. már nem jelez, A 9 tengely süllyedését az 5 mérőóra szerkezet teszi a 6 számlapon leolvashatóvá. Így a tengely süllyedése, a fúrás mélysége, azaz a réteg vastagsága a 6 számlapon olvasható le. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás villamosan vezető anyagok felületén levő villamosan nem vezető réteg; vagy villamosan nem-vezető anyagok felületén levő villamosan vezető réteg vastagságának mérésére, azzal jellemezve, hogy a mérendő réteget szúróeszközzel megérintjük, az indikiátorórát nullára állítjuk, ezután a szúróeszközzel a mérendő réteget átszúrjuk, az átszúrást elektromos áramkörben érzékeljük, és a szúróeszköz elmozdulását az .índákátorórán leolvassuk. 2. Rétegvastagság mérőberendezés azzal jellemezve, hogy egy állványszerkezete, ehhez kapcsolódó szúróeszköze, ennek mozgatószeirkezetei — amely célszerűen orsós emelőből áll —, ön-2