155930. lajstromszámú szabadalom • Közvetlen leolvasású, nagy indikáló érzékenységű és egyidejűleg nagy feloldóképességű tömegspektrométer, különösen tömítetlenség kutatására és maradékgáz analízis céljára
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1965. VII. 15. (DE—515) Német Demokratikus, Köztársaság-beli elsőbbsége: 1964. VII. 15. Közzététel napja: 1968. XI. 22. Megjelent: 1969. X. 30. 155930 \* * N'*-^ / B í l j ll C B » Szabadalmi osztályT 42 1 4 Nemzetközi osztály: G 01 n Decimal osztályozás: Feltalálók: Prof. dr. rer. nat. häbil Bernhard Fritz oki. mérnök, Berlin-Karlshorst. Hoffmann Heinz oki. fizikus, Berlin, Wilde Ernst fizikus, Berlin-Niederschöneweide, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: Deutsche Akademie der Wissenschaften zu Berlin, Berlin-Adlershof, Német Demokratikus Köztársaság Közvetlen leolvasású, nagy indikáló érzékenységű és egyidejűleg nagy feloídóképességű tömegspektrométer, különösen tömítetlenség kutatására és maradékgáz analízis céljára A találmány tárgya közvetlen leolvasású, nagy indikáló érzékenységű és egyidejűleg nagy feloídóképességű tömegspektrométer, tömítetlenség kutatására különösen a félvezető-és vákuumtechnikában, valamint maradékgáz analizátorként való alkalmazásra a kutató munkában és technikában, továbbá sok nagyvákuumban lejátszódó folyamat ellenőrzésére. A tömegspektrométer a mágneses tömegszétválasztás elve alapján működik és ionforrásból, belépőrésből, mágneses szétválaisztótérből, kilépőrésből, felfogó elektródból és nagy érzékenységű jelző és kiértékelő berendezésből áll. Ismeretesek már. tömítetlenség kutatására és maradékgáz analízisre szolgáló tömegspektrométerek, amelyek hotmogén mágneses szétválasztótér alapján működnek. Az ilyen készülékek műszakilag igen bonyolult felépítésű, nehezen beszabályozható és nagy mechanikai pontosságú ionforrásból állnak, amely oldalt helyezkedik el a mágneses térben, továbbá a külön elrendezett és cserélhető belépőrésből, amely az analizátortérbe vezet, az ebben elrendezett rekeszből, a cserélhető kilépőréaből és a felfogó elektródból. A legtöbb esetben a fe'fogó elektród erősítővel van összekötve, amelyen a tömegspektrum vagy a tömegspektrum kivágásának jelzésére vagy felrajzolására oszcillográf csövek vannak elrendezve. 10 Az ionforrás, amely a tömegspektrométer legfontosabb része, lényegileg a például wolframból készült beszabályozható fűtőszálból (izzókatód), a Wehnölt4iengerből, az anódból, a fűtőszál és andó között elrendezett ionizálóténből, az ezen különállóan elrendezett és szívó feszültség előállítására szolgáló elektródokból és ezekhez csatlakozó változtatható ionlencsékből áll. Aszerint, hogy milyen célra alkalmazzák a tömegspektrométert, különböző résrendszerekkel dolgoznak. A maradékgáz analízis céljára a belépőrést és a kilépőrést úgy lehet meg-15 választani, hogy a feloldóképesség értéke legfeljebb 50. Az emellett elérhető indikáló érzékenység csekély és legfeljebb 10-9 torr l/s. A résrendszer ilyen elrendezése természetesen a felfogó elektródra jutó ionáram intenzitásá-20 nak rovására megy. Tömítetlenségek kutatására eddig a tömegspektrométereknél legfeljebb 10~12 torr l/s indikáló érzékenységet értek el legfeljebb 20-as feloldóképesség mellett, azáltal, hogy a résrendszert másik résrendszerre cserélték ki, 25 amelynél a belépőrés és a kilépőrés szélessége nagyobb. A tömegspektrométereknek homogén M mágneses térben való — feloldóképessége, mint ismeretes, fordítottan arányos a belépőrés 30 és kilépőrés szélességeinek összegével. Itt A~M. 155930
